プラズマを利用した基材の表面処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-017549
公開番号（公開出願番号）：特開平9-208726
出願日： 1996年02月02日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【課題】大気圧条件下で、基材に耐久性に優れた疎水性能を与える表面処理方法を提供する。【解決手段】一対の電極の少なくとも一方に固体誘電体を設置し、他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志が対向して設けられ、当該他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志の間に基材を配置し、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の大気圧近傍の圧力下で、該電極間に直流が重畳された交流電界を印加することによって放電プラズマを発生させる。一対の電極の一方に、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の導入口および吹き出し口を備えた固体誘電体容器を配設し、他方の電極と当該ガス吹き出し口を対向して設けた装置の、当該他方の電極と当該ガス吹き出し口の間に基材を配置して処理を行ってもよい。

請求項（抜粋）：

一対の電極の少なくとも一方に固体誘電体を設置し、他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志が対向して設けられ、当該他方の電極と該固体誘電体又は該固体誘電体同志の間に基材を配置し、処理用ガスと不活性ガスの混合気体の大気圧近傍の圧力下で、該一対の電極間に直流が重畳された交流電界を印加することによって放電プラズマを発生させることを特徴とする基材の表面処理方法。

引用特許：

審査官引用 (7件)

積層体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-005715 出願人：積水化学工業株式会社
特開昭53-068171
プラズマ表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-220795 出願人：新日本製鐵株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘

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