特許
J-GLOBAL ID：200903008120098892

走査型電子顕微鏡における定量的3次元再構成のための方法および装置

発明者：
エドワード・プリンシペ

エドワード・プリンシペ について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・エヌティエス・ゲーエムベーハー

カール・ツアイス・エヌティエス・ゲーエムベーハー について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-105176
公開番号（公開出願番号）：特開2006-294614
出願日： 2006年04月06日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】走査型電子顕微鏡システムにおける3次元トモグラフィ・イメージ生成のための方法と装置を提供する。【解決手段】標本の上端表面上に少なくとも2つの縦のマークを備え、それらの間に角度を持たせる。連続するイメージ記録において、それらのマークの位置が決定され、連続するイメージ記録の間において取り出されたスライスの厚さの定量化に使用される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡を用いて標本の3次元トモグラフィ・イメージ・データを生成するための方法であって: (a)前記標本の面に、互いの間に距離を有し、かつ前記距離が前記表面の選択された方向において変化する2つの縦のマークを設けるステップ; (b)前記選択された方向に対して垂直の方向にわたって前記標本を走査する荷電粒子のビームによって前記標本からスライスを取り出すステップ; (c)前記選択された方向に対して垂直でない伝播方向を有する主電子ビームによって前記標本を走査し、前記標本によって放出された電子を検出することによりイメージ・データを記録し、かつ前記イメージ・データをイメージ・データのセットとしてストアするステップ; (d)前記ステップ(b)とステップ(c)を複数回にわたって反復し、イメージ・データの複数セットを生成するステップ;および、 (e)前記ストアされたイメージ・データを分析してイメージ・データの各セット内の前記マークを識別し、前記スライスの厚さを、前記イメージ・データの各セット内の前記マークの距離から計算するステップ; を含む方法。
IPC (4件)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  G01B 15/04 ,  H01J 37/31
FI (4件)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  G01B15/04 K ,  H01J37/31
Fターム (14件)：
2F067AA04 ,  2F067AA27 ,  2F067AA52 ,  2F067BB21 ,  2F067HH06 ,  2F067HH08 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067QQ02 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13 ,  2F067UU03 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 米国特許第6,855,938号
  • 国際特許出願第PCT/EP 03/01923号
  • 国際特許出願第WO 03/071578号
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審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (2件)

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