特許
J-GLOBAL ID:200903008242841677

圧力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 強
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-146571
公開番号(公開出願番号):特開平10-332508
出願日: 1997年06月04日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構成でセンサチップの破壊時等におけるガス漏れ量の規制を行う。【解決手段】 ケース14を、センサチップ13が装着される収納凹部14cを有するケース主部14aと、圧力導入路19を有する突出管部14bとから構成する。圧力導入路19の途中部に、センサチップ13の破壊時の外部へのガス漏れ量を規制するための、径小(φ0.5mm以下)のガス漏れ規制部19aを設ける。圧力導入路19をインサートパイプ23から構成する。ケース14に被せられる蓋15に、取付部12にねじ止めするための取付板部20を一体に設ける。蓋15に係合穴24を設けると共に、ケース14に弾性係合爪25を設け、それらの係合によって、蓋15とケース14とを相互間の若干のずれ移動可能に結合する。
請求項(抜粋):
ダイヤフラムを有するセンサチップと、このセンサチップが収納されるケースと、このケースに設けられ検出圧力を前記センサチップのダイヤフラム部分に導入するための圧力導入路とを備えるものであって、前記圧力導入路の途中部に、部分的に径小とされたガス漏れ規制部が設けられていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (4件):
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 ,  G01L 19/06 ,  G01L 19/14
FI (4件):
G01L 9/04 101 ,  G01L 19/00 A ,  G01L 19/06 Z ,  G01L 19/14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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