空間分解能を改善した固体X線検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：松本研一 , 小倉博 , 伊藤信和 , 黒川俊久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-131325
公開番号（公開出願番号）：特開2005-322909
出願日： 2005年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月17日
要約：

【課題】空間分解能を改善した固体X線検出器を提供する。【解決手段】モノリシック検出器(12)は、ピクセル信号に電気的ノイズを生じさせると信じられるようなピクセル相互の間の領域へのX線(18)を阻止するための格子(44)を使用する。多数の別々の小さい結晶を使用することによって生じる組み立ての問題が排除されるが、通常は別々の結晶を用いる設計によるような信号品質が得られない。この信号品質の低下の原因は、電極で規定されたピクセル相互の間の領域(「ガター(gutter)」領域)にX線が衝突して電荷坦体を解放し、該電荷坦体が次いで予想外に隣接のピクセルの中へ移動して、それらのピクセルにおける測定値の悪影響を及ぼすことによるもであると考えられる。この理由のため、本発明はガター領域を覆うようにX線阻止マスクを設ける。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

前面(14)及び後面(20)を持つモノリシック検出素子(12)と、前記前面上の少なくとも1つの電極(22)と、前記後面上に配置された複数の電極(24)であって、ガター領域(25)によって電気的に分離されている複数の電極(24)と、前記後面上の前記電極と整列した開口、及び前記ガター領域と整列した阻止要素(45)を持っていて、前記ガター領域の少なくとも一部分におけるX線を阻止するX線阻止マスク(44)と、を有している固体X線検出器(10)。

IPC (4件)：

H01L27/14 , G01T1/24 , H01L27/146 , H01L31/09

FI (4件)：

H01L27/14 K , G01T1/24 , H01L27/14 C , H01L31/00 A

Fターム (28件)：

2G088EE03 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ29 , 2G088JJ32 , 2G088JJ33 , 4M118AA05 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA14 , 4M118CA19 , 4M118CB01 , 4M118FB09 , 4M118FB23 , 4M118FB24 , 4M118FB25 , 4M118GA10 , 4M118GB07 , 4M118GB11 , 5F088AB09 , 5F088BA07 , 5F088BB07 , 5F088HA10 , 5F088KA08 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6037595号

審査官引用 (8件)

特開平1-219693
放射線撮像装置及び放射線撮像システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-294510 出願人：キヤノン株式会社
CT用固体検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-104497 出願人：株式会社島津製作所

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