ステージの位置制御装置及び速度制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140002
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330642
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】装置のハードウェア構成を変更することなく、装置の外乱を推定し補償することで、定速性、位置決め時間の性能向上を図ることのできる位置制御装置を提供すること。【解決手段】位置制御装置は、位置検出値xと位置指令値xc との差によりモータMの電流目標値ic を生成するPID制御器33と外乱オブザーバ10とを含む。外乱オブザーバは、プログラムにより高速演算を実行する信号処理手段を有する。信号処理手段は、モータドライバ34へのトルク指令値をフィルタリングするローパスフィルタ11と、位置検出値から推定負荷入力トルクを推定する入力トルク推定フィルタ12と、フィルタリングされたトルク指令値と推定された推定負荷入力トルクとの差分により推定負荷外乱トルクを算出すると共に、算出された推定負荷外乱トルクに基づいて外乱トルクを打ち消すように電流目標値に対する補正値を生成する機能とを有する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1軸方向に駆動されるステージの位置制御装置であって、前記ステージの位置を検出するための位置検出器から得られる位置検出値と位置指令値とに基づいて前記ステージの駆動源であるモータを制御するフィードバック制御系による位置制御装置において、前記位置検出値と前記位置指令値との差により前記モータの電流目標値を生成するPID制御器と外乱オブザーバとを含み、前記外乱オブザーバは、プログラムにより高速演算を実行する信号処理手段を有し、該信号処理手段は、前記モータへのトルク指令値をフィルタリングするフィルタ機能と、前記位置検出値から推定負荷入力トルクを推定する入力トルク推定フィルタ機能と、前記フィルタリングされた前記トルク指令値と前記推定された推定負荷入力トルクとの差分により推定負荷外乱トルクを算出すると共に、算出された推定負荷外乱トルクに基づいて外乱トルクを打ち消すように前記電流目標値に対する補正値を生成する機能とを有することを特徴とするステージの位置制御装置。

IPC (4件)：

G05D 3/12 305 , G05D 3/12 306 , G05B 11/32 , G05B 13/02

FI (4件)：

G05D 3/12 305 V , G05D 3/12 306 Z , G05B 11/32 F , G05B 13/02 C

Fターム (42件)：

5H004GA07 , 5H004GB15 , 5H004HA07 , 5H004HA08 , 5H004HA09 , 5H004HB07 , 5H004HB14 , 5H004JB02 , 5H004JB22 , 5H004KB02 , 5H004KB04 , 5H004KB06 , 5H004KB32 , 5H004KB38 , 5H004LA12 , 5H004MA12 , 5H303AA01 , 5H303AA04 , 5H303AA20 , 5H303BB01 , 5H303BB06 , 5H303BB11 , 5H303CC07 , 5H303CC08 , 5H303DD04 , 5H303EE03 , 5H303EE07 , 5H303FF06 , 5H303GG13 , 5H303HH01 , 5H303HH07 , 5H303JJ02 , 5H303JJ04 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303KK04 , 5H303KK11 , 5H303KK17 , 5H303KK19 , 5H303KK28 , 5H303LL03 , 5H303MM05

引用特許：

出願人引用 (3件)

位置制御方式及び速度制御方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-188326 出願人：住友重機械工業株式会社
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042251 出願人：株式会社ニコン
位置制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-078924 出願人：株式会社安川電機

審査官引用 (3件)

位置制御方式及び速度制御方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-188326 出願人：住友重機械工業株式会社
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042251 出願人：株式会社ニコン
位置制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-078924 出願人：株式会社安川電機

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