特許
J-GLOBAL ID：200903008399255623

検査方法およびその装置並びに半導体基板の製造方法

発明者：
芝田 行広

芝田 行広 について

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前田 俊二

前田 俊二 について

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牧平 坦

牧平 坦 について

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吉田 実

吉田 実 について

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中山 保彦

中山 保彦 について

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岡 健次

岡 健次 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-134145
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325711
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】比較検査による欠陥検出方法において、高解像度の光学系を用いて微小欠陥を検出し、且つ欠陥検出ノイズとなる画像歪みを補正して欠陥検出性能を向上する。また、検出した欠陥の分類と大きさを求めることができる検査方法およびその装置を提供することにある。【解決手段】試料に形成されたパターンに応じて照明光の偏光を制御することにより、高解像度の画像を検出して微小欠陥を検出できる光学系を実現する。また、ステージの振動や光学収差によって生じた画像歪みを補正し、欠陥検出上のノイズとなる正常部の不一致を低減し、欠陥検出感度の向上並びに誤検出の防止を図る。また、同一試料上に異なる反射率のパターンがあっても、センサのブルーミングを防止でき、高い欠陥検出感度を達成する。さらに、検出した欠陥の分類及び大きさを判定する機能を備えた検査方法およびその装置を提供することである。
請求項（抜粋）：
光源から出射されたインコヒーレント光を偏光ビームスプリッターを透過あるいは反射させることによって部分偏光させて1/4波長板により楕円偏光に変換して被検査対象物に対して落射照明する照明光学系と、前記被検査対象物からの反射回折光を前記1/4波長板を通して前記偏光ビームスプリッターを反射あるいは透過させることによって捕捉して被検査対象物上の像を光電変換素子上に結像させる検出光学系と、該検出光学系で検出した比較画像を参照画像と比較処理して検査する画像処理部とを具備し、前記1/4波長板の回転角を前記被検査対象物上に形成されたパターンに応じて設定することを特徴とする検査装置。
IPC (5件)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/21 ,  G01N 21/88 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36
FI (5件)：
G01B 11/30 C ,  G01N 21/21 Z ,  G01N 21/88 E ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/36
引用特許：
出願人引用 (18件)
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審査官引用 (9件)
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