基板移載ロボット装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-065196
公開番号（公開出願番号）：特開2001-253536
出願日： 2000年03月09日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：

【要約】【課題】静止状態にある矩形基板を保持し別の位置への移載を行なうときに、基板移載ロボット装置上において矩形基板の基準位置への位置決めを可能にして、事前のアライメントを不要にでき、かつまた異なるサイズの矩形基板の基準位置への位置決めを行なう。【解決手段】静止状態にあるガラス基板Wを保持し移載を行なう基板移載ロボット装置1であって、ハンドH1、H2の載置面上にガラス基板が位置し、かつ待機位置に移動した状態において、基板Wの対向端面に対して略直交する2方向から移動して基準位置への位置決めを行うためのアライナー11、11とロータリークランプシリンダー12、12と所定駆動制御を行なう制御装置203とを備える。

請求項（抜粋）：

矩形基板を保持し移載を行なう保持手段を、待機位置と移載位置との間で往復させ、さらに昇降と水平面内の旋回を行なうように構成し、第1の位置で静止状態にある矩形基板を保持し、第2の位置への移載を行なう基板移載ロボット装置であって、前記保持手段の載置面上に矩形基板が位置し、かつ前記待機位置に移動した状態において、矩形基板の対向端面に対して略直交する2方向から移動する移動部により基準位置への位置決めを行うための位置決め手段と、前記保持手段と前記位置決め手段とに接続され、前記保持手段と前記位置決め手段とによる所定駆動制御を行なう制御手段とを備えたことを特徴とする基板移載ロボット装置。

IPC (4件)：

B65G 49/06 , B25J 9/06 , B25J 15/06 , H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/06 A , B25J 9/06 D , B25J 15/06 Z , H01L 21/68 G , H01L 21/68 A

Fターム (49件)：

3C007DS01 , 3C007ES02 , 3C007EV05 , 3C007EV23 , 3C007EW03 , 3C007FS01 , 3C007FT11 , 3C007GU03 , 3C007KS03 , 3C007NS09 , 3C007NS17 , 3F060AA01 , 3F060AA07 , 3F060AA08 , 3F060BA06 , 3F060DA07 , 3F060DA09 , 3F060DA10 , 3F060EB02 , 3F060EB05 , 3F060EC02 , 3F060EC06 , 3F060GB19 , 3F060GD14 , 3F060HA00 , 3F060HA28 , 3F061AA01 , 3F061BA02 , 3F061BE05 , 3F061BE43 , 3F061BF04 , 3F061CA01 , 3F061CB05 , 3F061DB04 , 3F061DB06 , 3F061DC03 , 3F061DD01 , 5F031CA05 , 5F031GA24 , 5F031GA36 , 5F031GA38 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031JA22 , 5F031JA36 , 5F031LA07 , 5F031MA27 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (7件)

ロボット装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-039211 出願人：平田機工株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-038254 出願人：株式会社東芝
検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-201401 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社

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