ロボット装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-039211
公開番号（公開出願番号）：特開平11-238775
出願日： 1998年02月20日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】ワークを保持するために設けられる上下の第1保持部と第2保持部の駆動のための駆動機構を共通の基部に搭載することで、往復移動速度が向上でき、かつまたストロークを任意に設定できるロボット装置の提供。【解決手段】静止状態にあるワークの保持を行ない移載を行なうために、ワークの保持を行なう上フォーク51を矢印Y1方向に往復駆動する第1駆動部を備える第1移動体111と、下フォーク52を矢印Y2方向に往復駆動方向に往復駆動する第2駆動部を備える第2移動体107とを備え、さらに第1移動体と第2移動体の往復駆動方向に沿うように往復駆動する第3駆動部を備え第3移動体103とを具備する。

請求項（抜粋）：

静止状態にあるワークの保持を行ない移載を行なうために、ワークの保持を行なう第1保持部を往復駆動する第1駆動部を備える第1移動体と、ワークの保持を行なう第2保持部を前記往復駆動方向に沿うように往復駆動する第2駆動部を備える第2移動体とを備えたロボット装置であって、前記第1移動体と前記第2移動体の往復駆動方向に沿うように往復駆動する第3駆動部を備え、前記第1移動体と前記第2移動体とを搭載する第3移動体と、前記第1駆動部と前記第2駆動部と前記第3駆動部とに接続されてなり、前記往復駆動の駆動制御を行なう制御手段とを具備することを特徴とするロボット装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B25J 11/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B25J 11/00

引用特許：

審査官引用 (6件)

多段フォーク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-215095 出願人：株式会社ダイフク
処理方法及び処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-183539 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-054953 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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