特許
J-GLOBAL ID：200903008491927662

プローブカード

発明者：
坂田 輝久

坂田 輝久 について


出願人/特許権者：
日本電子材料株式会社

日本電子材料株式会社 について


代理人 (1件)： ▲吉▼川 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-348800
公開番号（公開出願番号）：特開2008-157831
出願日： 2006年12月26日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】 従来のプローブカードで必要となっていたプローブの先端の位置を調整する作業を省略することが可能なプローブカードを提供することを目的とする。【解決手段】 基板、上記基板に対して垂直方向に配置されたプローブ、上記基板に対して平行に所定の間隔で設置され、上記プローブの先端が挿入されて上記プローブの先端の位置決めを行うガイド穴を有するガイド板、および上記ガイド板を上記基板に対して垂直方向に移動可能に支持する支持手段を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板、上記基板に対して垂直方向に配置されたプローブ、上記基板に対して平行に所定の間隔で設置され、上記プローブの先端が挿入されて上記プローブの先端の位置決めを行うガイド穴を有するガイド板、および上記ガイド板を上記基板に対して垂直方向に移動可能に支持する支持手段を備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01R1/073 E ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B
Fターム (20件)：
2G003AA07 ,  2G003AG04 ,  2G003AG12 ,  2G003AH04 ,  2G003AH07 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB04 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC02 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD06 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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