特許
J-GLOBAL ID:200903008565312258
投影型エンコーダ
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
横沢 志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-042478
公開番号(公開出願番号):特開2003-240606
出願日: 2002年02月20日
公開日(公表日): 2003年08月27日
要約:
【要約】【課題】 原点位置を精度良く検出可能な3枚格子の理論による投影型エンコーダを実現すること。【解決手段】 投影型リニアエンコーダ1の移動格子板6には、A相およびB相信号検出用の光透過格子群3、A相およびB相信号検出用のホトダイオード群4、並びに原点位置検出用のホトダイオード群5が形成され、反射格子板9にはA、B相信号検出用の反射格子群7と原点位置検出用の反射格子群8が形成されている。原点位置検出用のホトダイオード群5はM系列の配列パターンに従ってZ相用ホトダイオード5ZおよびZ’相用ホトダイオード5Z’が配列され、原点位置検出用の反射格子群8は、同じくM系列の配列パターン従って反射格子81および非反射格子82が配列されている。Z相用ホトダイオード5ZとZ’相用ホトダイオード5Z’の差動信号に基づき、移動格子板6の原点位置を精度良く検出できる。
請求項(抜粋):
光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の透過格子と、前記光源から出射され前記透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記透過格子の相対移動位置を検出する投影型エンコーダであって、前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記透過格子および前記受光素子が形成されている基板と、前記反射格子板および前記基板の原点位置を検出するための原点位置検出機構とを有しており、前記原点位置検出機構は、前記反射格子板に形成された原点位置検出用反射格子領域と、前記基板に形成された原点位置検出用受光素子領域とを備え、前記原点位置検出用反射格子領域では、M系列の配列パターンに従って一定幅の反射格子および非反射格子が配列されており、前記原点位置検出用受光素子領域では、前記M系列の配列パターンに従って位相の異なるZ相信号およびZ’相信号を得るための一定幅のZ相受光素子およびZ’相受光素子が配列されており、前記原点位置検出用反射格子領域で反射された反射光像を前記原点位置検出用受光素子領域において受光できるように、これら原点位置検出用反射格子領域および原点位置検出用受光素子領域の位置関係が設定されていることを特徴とする投影型エンコーダ。
FI (3件):
G01D 5/36 K
, G01D 5/36 C
, G01D 5/36 T
Fターム (16件):
2F103BA10
, 2F103BA32
, 2F103BA43
, 2F103CA03
, 2F103DA01
, 2F103DA12
, 2F103EA04
, 2F103EA15
, 2F103EA20
, 2F103EB06
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EB37
, 2F103FA01
, 2F103FA12
引用特許:
出願人引用 (6件)
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光電式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-220079
出願人:株式会社ミツトヨ
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アブソリュートエンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-333432
出願人:株式会社ニコン
-
走査ヘッドおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-343658
出願人:ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
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審査官引用 (2件)
-
光電式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-220079
出願人:株式会社ミツトヨ
-
アブソリュートエンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-333432
出願人:株式会社ニコン
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