圧電カンチレバー圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：後藤政喜 , 松田嘉夫 , 上野英夫 , 飯田雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-054010
公開番号（公開出願番号）：特開2005-249785
出願日： 2005年02月28日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：

【課題】正確で感度が高く、サイズもコンパクトで、小さな入力しか必要とせず、低コストで製造できる指紋識別装置を提供する。【解決手段】圧電カンチレバー圧力センサ(100)は、基板(120)と、基板の一端に装着され、キャビティ(130)上に伸びる圧電カンチレバー(150)とを備える。圧電カンチレバー(150)は、第1の電極(108)と、第2の電極(104)と、第1の電極と第2の電極の間で、これらに電気接続された圧電素子(106)とを備える。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

圧電カンチレバー圧力センサであって、基板と、前記基板の一端に装着され、キャビティ上に伸びる圧電カンチレバーとを備え、前記圧電カンチレバーは、第1の電極と、第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極の間で、これらに電気接続された圧電素子とを備えることを特徴とする圧電カンチレバー圧力センサ。

IPC (6件)：

G01L1/16 , A61B5/117 , G01N13/16 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/22

FI (6件)：

G01L1/16 B , G01N13/16 A , A61B5/10 322 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

Fターム (8件)：

2F063AA41 , 2F063BA29 , 2F063DA02 , 2F063DA05 , 2F063DD07 , 2F063EC00 , 4C038FF01 , 4C038FG00

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許出願第20020053857号

審査官引用 (14件)

特開平4-208827
特開平4-208827
特開平2-083425

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