特許
J-GLOBAL ID：200903008615257407
真空紫外で高い透明性を有するフッ素含有化合物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-575187
公開番号（公開出願番号）：特表2005-519346
出願日： 2003年03月06日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
本発明は、高い透明性および優れた放射線耐久性のおかげで157nmリソグラフィーに使用するのに好適である放射線耐久性有機組成物およびその調製方法に関する。
請求項（抜粋）：
140〜260nmの波長において<1の吸光度/マイクロメートルにより特徴づけられる有機組成物であって、20ppm未満の水と、90ppm未満の酸素と、
i)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH-CH)よりも長い連続した隣接C-H結合は存在せず、6個(CF-CF-CF-CF-CF-CF)よりも長い連続した隣接C-F結合は存在せず、かつ-CH2CH3基は存在しない、2〜10個の炭素原子を有する環状、線状、もしくは分枝状ヒドロフルオロカーボン、
ii)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個よりも長い連続した隣接C-H結合は存在せず、-CH2CH3基は存在せず、かつエーテル酸素の両側に水素を有するシーケンス(CH-O-CH)は存在しない、X-Rfa[ORfb]nORfcY〔式中、XおよびYは、水素またはフッ素であることが可能であり、かつRfa、Rfb、およびRfcは、炭素1〜3個の線状もしくは分枝状フルオロカーボン基である〕、
iii)CnF2n-v+2Hv〔式中、n=2〜10、v<n+1、フッ素の数は水素の数に等しいかまたはそれよりも多く、2個よりも長い連続した隣接C-H結合は存在せず、6個よりも長い連続した隣接C-F結合は存在せず、かつCH2CH3基は存在しない〕、
iv)CnF2n+1CFHCFHCmF2m+1〔式中、nは1〜4に等しく、かつmは1〜4に等しい〕、
v)CF3CH2CF2CH3、
vi)F[CF(CF3)CF2O]nCFHCF3〔式中、n=1〜5〕、
vii)F[CF(CF3)CF2O]nCF2CF3〔式中、n=1〜5〕、
viii)HCF2(OCF2)n(OCF2CF2)mOCF2H〔式中、n+m=1〜8〕、ならびに
ix)水素よりも多くのフッ素が存在し、2個(CH-CH)よりも長い連続した水素は存在せず、-CH2CH3基は存在せず、6個(CF-CF-CF-CF-CF-CF)よりも長い連続した隣接C-F結合は存在せず、かつ窒素または酸素のいずれにも、すぐ隣接したC-H結合は存在しない、環状、線状、もしくは分枝状のペルフルオロカーボンアミンおよびヒドロフルオロカーボンアミンならびにエーテル-アミン、
よりなる群から選択される1種もしくはそれ以上の化合物とを含んでなる組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/039 501
, G03F7/004 501
2H025AA02
, 2H025AB15
, 2H025AB20
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BF07
, 2H025BG00
, 2H025CB41
, 2H025CC20
出願人引用 (2件)
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国際公開第0185811号パンフレット
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国際公開第137044号パンフレット
審査官引用 (7件)
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