特許
J-GLOBAL ID：200903008617948083
回折型光学部品およびそれを用いたレーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-029244
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264347
出願日： 2003年02月06日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】従来の回折型光学部品(DOE)は一定パターンのユニットパターンΥを縦横に繰り返し並列させたものであり高速フーリエ変換によって計算できるという利点があるが回折光の方向は離散的で予め決まった格子点の方向にしか出ない。【解決手段】DOEを構成する画素(m,n)全てに透過率tmnを与えて所望の方位α、βの方向へのフーリエ変換の式を全部計算する。計算量が増えるのであるが格子から外れた不規則性ある回折パターンを生成することができる。また分解能U、Vをλ/aR、λ/bS(λは波長、aR、bSはDOEのサイズ)よりも小さい値にできる。レーザビームを高い分解能で任意の方向、数に分岐することが可能である。任意の位置に高い位置精度でレーザビームを多点一括照射することが可能となる。電子部品で要求される自由かつ高精度なスポット配置を実現することができる。レーザ加工の高速化、コスト低減に大きな効果がある。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
レーザ光の1波長分に対応するg通りの厚みをとる寸法a×bで厚みに対応してg通りの複素振幅透過率tmnが与えられる透明矩形セルを縦横にR×S個並べた構造を有し、入射した平行ビームを、光軸に対して(αk,βk)の角度をなす有限個の分岐ビームk(k=1、2、...、K)に分岐する回折型光学部品であって、
同一のセル配置を有するユニットパターンが繰り返すという構造をもたず、RS個のセルは全て他のセルの値に拘束されずに複素振幅透過率tmnを与えることができ、
K個の分岐ビームの角度(αk,βk)が二つの正の定数UとVと公約数のないk個の適当な整数mk、nkによって
sinαk=mkU
sinβk=nkV
というように表現され、かつ前記正の定数U、Vの両方あるいはどちらかがレーザ光波長λを回折型光学部品の寸法aR、bSで割った値よりも小さい
U<λ/aR
V<λ/bS
というものであるようにした事を特徴とする回折型光学部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H049AA04
, 2H049AA14
, 2H049AA55
, 2H049AA64
, 2H049AA66
