特許
J-GLOBAL ID：200903008731547463

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
中島 秀郎

中島 秀郎 について

, 
伊藤 武史

伊藤 武史 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 塩野入 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368534
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166927
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、プローブと試料表面との接触を自動回避し、試料表面の三次元形状を自動測定する。【解決手段】 プローブが試料表面を走査する間において、プローブの高さを監視することによって、プローブと試料表面との接触を自動的に回避するものであり、プローブの高さ制限値を予め設定しておき、走査によって測定されるプローブのZ方向の高さと高さ制限値とを比較し、プローブの高さが高さ制限値に達したときあるいは超えたときにプローブと試料との間のZ方向の距離を広げ、これによって、プローブと試料表面との接触を回避する。
請求項（抜粋）：
プローブを試料表面に沿って相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、プローブのZ方向高さと予め設定した高さ制限値とを比較し、当該比較結果に基づいてプローブの走査を停止しプローブと試料とのZ方向の距離を広げることを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 13/10 A ,  G01B 21/30
Fターム (10件)：
2F069AA60 ,  2F069AA61 ,  2F069DD06 ,  2F069DD08 ,  2F069GG04 ,  2F069GG11 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069MM34
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (10件)
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