特許
J-GLOBAL ID:200903008731547463
走査型プローブ顕微鏡
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩野入 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-368534
公開番号(公開出願番号):特開2003-166927
出願日: 2001年12月03日
公開日(公表日): 2003年06月13日
要約:
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、プローブと試料表面との接触を自動回避し、試料表面の三次元形状を自動測定する。【解決手段】 プローブが試料表面を走査する間において、プローブの高さを監視することによって、プローブと試料表面との接触を自動的に回避するものであり、プローブの高さ制限値を予め設定しておき、走査によって測定されるプローブのZ方向の高さと高さ制限値とを比較し、プローブの高さが高さ制限値に達したときあるいは超えたときにプローブと試料との間のZ方向の距離を広げ、これによって、プローブと試料表面との接触を回避する。
請求項(抜粋):
プローブを試料表面に沿って相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、プローブのZ方向高さと予め設定した高さ制限値とを比較し、当該比較結果に基づいてプローブの走査を停止しプローブと試料とのZ方向の距離を広げることを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 13/10 A
, G01B 21/30
Fターム (10件):
2F069AA60
, 2F069AA61
, 2F069DD06
, 2F069DD08
, 2F069GG04
, 2F069GG11
, 2F069GG62
, 2F069HH04
, 2F069HH30
, 2F069MM34
引用特許:
出願人引用 (12件)
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特開平2-203204
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特開平2-244810
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特開平3-180702
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審査官引用 (10件)
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