特許
J-GLOBAL ID：200903044450668853
走査プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292918
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133038
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 サーボゲインの調整を自動的に行うことができる走査プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 探針3のZ微動信号は、プリアンプ7を経てバンドパスフィルタ31と誤差アンプ8に入力する。バンドパスフィルタ31はZ微動信号から発振周波数を抽出する。抽出された発振周波数は2乗平均検波回路32で平滑化されディジタル信号に変換されて、D.S.P14に入る。D.S.P14はZサーボ系のゲインをデホルト値から漸増し、前記ディジタル信号の大きさから、Zサーボ系に発振が起きているか否かを判断する。発振が起きたと判断した時には、その時のサーボゲインに基づいて、Zサーボ系のゲインを決定する。また、D.S.P14は誤差アンプ8の出力が閾値を越えた時に、xy走査を一時停止する信号をxy走査回路16に出力する。
請求項（抜粋）：
試料表面の物理量を検知するための探針の動作を制御するZサーボ系を有する走査プローブ顕微鏡において、前記Zサーボ系の発振を検出する発振検出手段と、該発振検出手段の出力に基づいて、前記Zサーボ系のサーボゲインを所定の大きさに自動設定するサーボゲイン自動設定手段とを具備したことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/305
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/305 A
