特許
J-GLOBAL ID：200903008785044025
光導波路素子およびその作製方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森岡 正樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192709
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047272
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 低駆動電圧特性と低伝搬損失特性を同時に解決できる構造を有する光導波路素子およびその作製方法を提供すること。【解決手段】 導電性または半導電性の下部電極2と、下部電極2上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性のバッファ層4と、バッファ層4上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性の光導波路1と、光導波路1上に設けられた導電性薄膜または半導電性薄膜の上部電極7とを具備する光導波路素子による。本発明の光導波路素子は上部電極7と下部電極2との間に電圧を印加することにより、光導波路に入射する光ビームを変調、スイッチング、または偏向することができる。
請求項（抜粋）：
導電性または半導電性の下部電極と、前記下部電極上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性のバッファ層と、前記バッファ層上に設けられたエピタキシャルまたは単一配向性の薄膜光導波路と、前記光導波路上に設けられた導電性薄膜または半導電性薄膜の上部電極と、を具備する光導波路素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2H047AA02
, 2H047CC03
, 2H047DD02
, 2H047EE06
, 2H047GG03
, 2H047GG07
, 2H047HH08
, 2K002AB03
, 2K002AB04
, 2K002AB09
, 2K002BA06
, 2K002CA02
, 2K002CA03
, 2K002CA22
, 2K002CA25
, 2K002DA05
, 2K002EB04
, 2K002EB09
, 2K002FA02
, 2K002HA02
