光偏向器及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西山恵三 , 内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-197129
公開番号（公開出願番号）：特開2004-037987
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：

【課題】高速に駆動可能で、大きな偏向角がとれ、反斜面の静的な平坦性が優れ、高速動作時にも歪みが少ない、小型で低電圧駆動可能な光偏向器及びその製造方法提供する。【解決手段】可動板を支持基板に対して相対的に駆動させ、反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、可動板の反射面が形成されない面に少なくとも2つ以上の凹部を形成し、磁性体は凹部に形成されていることを特徴とする光偏向器を提供する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

支持基板に、可動板の両端が弾性支持部でねじり軸を中心にねじり振動自在に支持され、前記可動板の一方の面には反射面が形成され、他方の面には、磁性体が形成され、前記磁性体の近傍に、磁気発生手段を有し、前記可動板を、前記磁気発生手段によって前記支持基板に対して相対的に駆動させ、前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、前記可動板の反射面が形成されない面に少なくとも2つ以上の凹部を形成し、前記磁性体は前記凹部に形成されていることを特徴とする光偏向器。

IPC (6件)：

G02B26/10 , B41J2/44 , B81B3/00 , B81C1/00 , H04N1/036 , H04N1/113

FI (7件)：

G02B26/10 F , G02B26/10 104Z , B81B3/00 , B81C1/00 , H04N1/036 Z , B41J3/00 D , H04N1/04 104Z

Fターム (22件)：

2C362BA18 , 2C362BA83 , 2H045AB06 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 2H045DA02 , 5C051AA02 , 5C051CA07 , 5C051DB02 , 5C051DB22 , 5C051DB30 , 5C051DC04 , 5C051DC07 , 5C051DE29 , 5C072AA03 , 5C072BA01 , 5C072BA03 , 5C072HA02 , 5C072HA14 , 5C072HB15 , 5C072WA05 , 5C072XA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-224308 出願人：オリンパス光学工業株式会社
アクチュエ-タ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-325611 出願人：日本信号株式会社
特開昭57-008520

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