計測装置およびその計測方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242916
公開番号（公開出願番号）：特開2009-074867
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】色収差による焦点差を利用して、被検物の3次元形状を短時間に測定する計測装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る計測装置60は、平面状に並んだ複数の画素領域21を有したイメージセンサー20と、被検物62の表面からの光を入射させてイメージセンサー上に被検物の表面の像を結像させる色出しレンズ11と、イメージセンサーを構成する複数の画素のそれぞれが受光した光の強度に基づいて、被検物の表面の高さを算出して被検物の3次元形状を測定する演算処理部30とを備えて構成されている。複数の画素は受光した光を少なくとも2つの波長毎に分けて波長毎の受光強度を検出し、演算処理部は複数の画素において検出された波長毎の受光強度のうち、2つの波長の受光強度から強度レベルの差を検出し、強度レベルの差を基に被検物の表面の垂直方向距離を測定して被検物の3次元形状を求める。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

平面状に並んだ複数の画素を有したイメージセンサーと、被検物の表面からの光を入射させて前記イメージセンサー上に前記被検物の表面の像を結像させる結像レンズ系と、前記結像レンズ系に入射した光が前記イメージセンサー上に前記被検物の表面の像を結像した状態において、前記イメージセンサーを構成する前記複数の画素のそれぞれが受光した光の強度に基づいて、前記被検物の表面の高さを算出して前記被検物の3次元形状を測定する演算処理部とを備え、前記複数の画素は受光した光を少なくとも2つの波長毎に分けて波長毎の受光強度を検出し、前記演算処理部は前記複数の画素において検出された前記波長毎の受光強度のうち、2つの波長の受光強度から強度レベルの差を検出し、前記強度レベルの差を基に前記被検物の表面の垂直方向距離を測定して前記被検物の3次元形状を求めることを特徴とする計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (20件)：

2F065AA24 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF10 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG10 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065HH06 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL22 , 2F065QQ16 , 2F065QQ33 , 2F065SS02 , 2F065SS13

引用特許：

出願人引用 (1件)

高さ判別装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-181681 出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (5件)

立体画像情報取得方法並びに装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-201948 出願人：財団法人電力中央研究所
光学式変位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-097511 出願人：株式会社リコー
変位測定装置及び変位測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-338272 出願人：株式会社神戸製鋼所

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