特許
J-GLOBAL ID:200903008989334294
単段ルーツ式真空ポンプ及びこの単段ルーツ式真空ポンプを用いた真空式流体搬送システム
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
西脇 民雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-374056
公開番号(公開出願番号):特開2007-177632
出願日: 2005年12月27日
公開日(公表日): 2007年07月12日
要約:
【課題】設置スペースの増大を抑制出来、また、耐腐食性が良好で、しかも、逆回転で圧送をする場合に、圧送流量が少なくなることが無く、排出時間を短縮出来る単段ルーツ式真空ポンプ及びこの単段ルーツ式真空ポンプを用いた真空式流体搬送システムを提供する。【解決手段】各駆動側ルーツロータシャフト11の中心,及び従動側ルーツロータシャフト12の中心との間に位置する中間位置pと、ケーシング6の内壁面6cの延長周上に位置する内径円が、交差する点q,qまでの領域の内壁面6cのうち、仮想線mの近傍には、外気導入孔22,22が、ケーシング幅方向に平行な横長のスリット状を呈して、対称位置に一対形成されている。 外気連通孔24,24に各々接続される外気導入用配管26,26の先端部26a,26aには、前記各三葉ロータ20,21の逆転時に空気が逃げないように、逆止弁27が取り付けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
吸込口と吐出口を形成したケーシング内に一対の三葉ロータを設け、吸込口と吐出口間が連通することのないように両ロータを回転させることにより吸込口から空気を吸引し、吐出口から吐出する正逆回転可能な単段ルーツ式真空ポンプであって、
前記吸込口は、各ロータの回転軸の中心を結ぶ仮想線mに対して各々の回転軸の中心から吸込口側に対して120度の容積移動角度を超えた位置nに設けられ、前記吐出口は、各ロータの回転軸の中心を結ぶ仮想線mに対して各々の回転軸の中心から吐出口側に対して120度の容積移動角度を超えた位置Oに設けられ、空気の吸引直後に吸込口側と吐出口側の間に各ロータの隣り合う葉片とケーシングの内壁面とで囲まれる2ヶ所の密閉空間を生じさせるように設け、ケーシングの吐出口側周壁部の仮想線mの近傍に、外気導入孔をケーシング幅方向に平行な横長のスリット状に設け、ケーシング吐出口側のケーシング蓋に設けられた前記外気導入孔に接続される外気導入用配管には、逆止弁を取り付けたことを特徴とする単段ルーツ式真空ポンプ。
IPC (5件):
F04C 18/18
, F04C 29/00
, F04C 29/04
, F04C 29/12
, F04B 37/16
FI (6件):
F04C18/18 A
, F04C29/00 U
, F04C29/04 E
, F04C29/12 E
, F04C29/12 D
, F04B37/16 E
Fターム (16件):
3H029AA06
, 3H029AA18
, 3H029AB06
, 3H029BB12
, 3H029BB43
, 3H029CC09
, 3H029CC12
, 3H029CC22
, 3H076AA21
, 3H076BB04
, 3H076BB23
, 3H076BB38
, 3H076CC07
, 3H076CC43
, 3H076CC46
, 3H076CC91
引用特許:
出願人引用 (9件)
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特許第3702760号(0015段落乃至0032段落、図1)
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特許第2684526号(0015段落乃至0020段落、図1、図2)
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特許第3571985号(0009段落乃至0024段落、図1)
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