特許
J-GLOBAL ID：200903009004159554

非腐食性のストリッピングおよびクリーニング組成物

発明者：
ホンダ・ケンジ

ホンダ・ケンジ について

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リチャード・マーク・モーリン

リチャード・マーク・モーリン について

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ゲイル・リン・ハンセン

ゲイル・リン・ハンセン について


出願人/特許権者：
アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド

アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-566353
公開番号（公開出願番号）：特表2002-523546
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
要約：
【要約】(a)約5〜約50%の溶媒、(b)約10〜約90%のアルカノールアミン、(c)約0.1〜10%のカルボン酸、および(d)約1.0〜40%の水を含有する非腐食性のフォトレジストストリッピングおよびクリーニング組成物。
請求項（抜粋）：
(a) N-メチル-2-ピロリジノン、N-ヒドロキシエチル-2-ピロリジノン、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、ジメチルスルホキシド、N,N-ジメチルアセトアミド、スルホラン、ジアセトンアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコールおよびこれらの混合物からなる群から選択される約5〜50重量%の溶媒、 (b) ジエチレングリコールアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、2-(2-アミノエチルアミノ)エタノール、およびこれらの混合物からなる群から選択される約10〜90重量%のアルカノールアミン、 (c) 約0.1〜10重量%のカルボン酸タイプの腐食防止剤、および (d) 約1〜40重量%の水を含有し、ヒドロキシルアミンおよびその誘導体を含まない非腐食性のストリッピングおよびクリーニング組成物。
IPC (10件)：
C09D 9/00 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/32 ,  C11D 7/34 ,  C11D 7/50 ,  C11D 7/60 ,  C11D 17/00 ,  C11D 17/08 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/308
FI (10件)：
C09D 9/00 ,  C11D 7/26 ,  C11D 7/32 ,  C11D 7/34 ,  C11D 7/50 ,  C11D 7/60 ,  C11D 17/00 ,  C11D 17/08 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/308 G
Fターム (20件)：
2H096AA25 ,  2H096LA03 ,  4H003DA15 ,  4H003DB01 ,  4H003EB07 ,  4H003EB08 ,  4H003EB14 ,  4H003ED02 ,  4H003ED28 ,  4H003ED31 ,  4H003ED32 ,  4H003FA21 ,  4J038RA02 ,  4J038RA04 ,  4J038RA05 ,  4J038RA17 ,  5F043BB27 ,  5F043BB28 ,  5F043CC16 ,  5F043GG10
引用特許：
審査官引用 (6件)
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