特許
J-GLOBAL ID：200903009029693571

基板検出装置、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法

発明者：
奥野 英治

奥野 英治 について

, 
麻 籍文

麻 籍文 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 川崎 実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241802
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068534
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】湿潤な環境においても、基板の有無を非接触で確実に検出する。【解決手段】基板検出プローブPは、非導電性のプローブケース55内に、検出電極51と、これを取り囲むガード電極52とを埋設して構成されている。検出電極51には、抵抗Rを介して、矩形波発生回路61からの矩形波電圧が印加される。抵抗Rと、検出電極51の対地間静電容量とで形成されるRC回路の時定数が遅れ時間検出回路62によって検出され、この遅れ時間の大小を比較回路63で判定することにより、基板の有無が検出される。ガード電極52には、ガード電極パルス発生回路65から、検出電極51と同位相かつ同電位の矩形波電圧が印加される。これにより、プローブケース55の表面に液層(液滴)が存在しても、プローブケース55の表面に沿う方向の電界が生じることがなく、液層の影響を排除して、基板の有無を正確に検出できる。
請求項（抜粋）：
基板検出位置に基板が存在するか否かを基板に非接触で検出するための基板検出装置であって、前記基板検出位置から間隔を開けた位置に非導電性隔壁を隔てて配置される検出電極、およびこの検出電極を取り囲んで配置され、前記非導電性隔壁を隔てて前記基板検出位置に対向し、前記非導電性隔壁の表面に沿う電界成分を排除するためのガード電極を備えた基板検出プローブと、前記検出電極に抵抗を介して矩形波電圧を印加するとともに、前記抵抗および前記検出電極を経由して対地間に形成されるRC回路の時定数を検出することにより、前記基板検出位置における基板の有無を検出する基板検出回路と、前記ガード電極に、前記検出電極に印加される矩形波電圧と同位相かつ同電位の矩形波電圧を印加するガード電極用矩形波印加回路とを含むことを特徴とする基板検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G01B 7/00 ,  G01B 11/00
FI (3件)：
H01L 21/68 L ,  G01B 7/00 B ,  G01B 11/00 A
Fターム (33件)：
2F063AA50 ,  2F063BA27 ,  2F063BB05 ,  2F063BB07 ,  2F063BB08 ,  2F063BC05 ,  2F063CA09 ,  2F063CA31 ,  2F063DA01 ,  2F063DC08 ,  2F063DD02 ,  2F063HA03 ,  2F063LA08 ,  2F063LA23 ,  2F065AA67 ,  2F065BB13 ,  2F065CC01 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065DD15 ,  2F065FF02 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA23 ,  5F031MA23 ,  5F031MA33
引用特許：
審査官引用 (7件)
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