バリア性積層フィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石川泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234267
公開番号（公開出願番号）：特開2002-046210
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】無機・有機ハイブリッドポリマー層と、高度なバリア性能の発現が可能となるようにその化学的、物理的性状を最適化した金属酸化物蒸着層とを組み合わせたバリア性積層フィルムを提供する。【解決手段】フィルム基材上に物理的蒸着法(PVD法)および/または低温プラズマ気相成長法(CVD法)により金属酸化物層が形成され、この金属酸化物層上に無機・有機ハイブリッドポリマー層が積層されてなるバリア性積層フィルムにおいて、前記ポリマー層が、以下の化学式で示されるポリメトキシシロキサンを20〜40モル%含む出発化合物(A)により合成されてなり、さらに、前記金属酸化物層が、ケイ素酸化物、および/または炭化ケイ素酸化物からなり、かつa)膜厚:100〜5000Åb)比表面積:0.2〜2.0m2/g、およびc)平均細孔径:0.7〜1.6nmの全てを満たすことを特徴とするバリア性積層フィルム。

請求項（抜粋）：

フィルム基材上に物理的蒸着法(PVD法)および/または低温プラズマ気相成長法(CVD法)により金属酸化物層が形成され、この金属酸化物層上に無機・有機ハイブリッドポリマー層(ORMOCER層)が積層されてなるバリア性積層フィルムにおいて、前記ORMOCER層が、前記ORMOCER層を構成する出発化合物の総モル数に対して、以下の化学式(A)で示されるポリメトキシシロキサンを20〜40モル%含む出発化合物により合成されてなり、【化1】さらに、前記金属酸化物層が、ケイ素酸化物、および/または炭化ケイ素酸化物からなり、かつa)膜厚:100〜5000Åb)比表面積:0.2〜2.0m2/g、およびc)平均細孔径:0.7〜2.0nmの全てを満たすことを特徴とするバリア性積層フィルム。

IPC (7件)：

B32B 9/00 , C08J 7/06 CFD , C23C 14/06 , C23C 14/10 , C23C 16/32 , C23C 16/40 , C08L 67:02

FI (7件)：

B32B 9/00 A , C08J 7/06 CFD Z , C23C 14/06 F , C23C 14/10 , C23C 16/32 , C23C 16/40 , C08L 67:02

Fターム (49件)：

4F006AA12 , 4F006AA35 , 4F006AA38 , 4F006AB39 , 4F006AB67 , 4F006BA05 , 4F006CA07 , 4F006DA01 , 4F100AA01C , 4F100AA16B , 4F100AA17B , 4F100AA20B , 4F100AD08B , 4F100AK01A , 4F100AK01C , 4F100AK42A , 4F100AK51G , 4F100AK52C , 4F100AL06C , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100CB00 , 4F100DE01B , 4F100GB15 , 4F100GB23 , 4F100JA13B , 4F100JA20 , 4F100JD02 , 4F100JD02B , 4F100JN01 , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA46 , 4K029BA56 , 4K029BA64 , 4K029BD00 , 4K029EA00 , 4K029EA01 , 4K029GA03 , 4K030BA37 , 4K030BA44 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030DA08 , 4K030FA01 , 4K030HA03 , 4K030JA01 , 4K030JA20 , 4K030LA24

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-239537
珪素酸化物系蒸着フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-333653 出願人：東洋インキ製造株式会社
バリアー性積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-064185 出願人：凸版印刷株式会社

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