基板収納容器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-316055
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128461
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】蓋体の撓みに伴う蓋体開閉装置とのドッキング不良を抑制防止し、作動トラブルやパーティクルを含む気体が容器本体に侵入して基板を汚染することのない基板収納容器を提供する。【解決手段】開口した正面から挿入された半導体ウェーハWを収納する容器本体1と、容器本体1の開口した正面に嵌入される蓋体20と、容器本体1に嵌入された蓋体20を施錠する施錠機構40とを備え、蓋体20を、容器本体1の開口した正面に嵌入される筐体21と、筐体21の開口した正面の両側部を覆う表面プレート28とから構成し、筐体21の中央部に、表面プレート28方向に凹む凹部24を形成する。そして、容器本体1に嵌入された蓋体20の凹部24からSEMI規格のFDPまでの距離を、表面プレート28の表面29からFDPまでの距離よりも短くする。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

開口した正面から挿入された基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に嵌め入れられる蓋体と、この蓋体に設けられ、容器本体に嵌め入れられた蓋体を施錠する施錠機構とを含んでなる基板収納容器であって、蓋体を、容器本体の開口した正面に嵌め入れられる筐体と、この筐体の開口面を覆う表面プレートとから構成し、筐体及び表面プレート表面の一部領域に、筐体及び表面プレートの裏面方向に凹む凹部を形成し、容器本体に嵌め入れられた蓋体の凹部から容器本体に挿入された基板を略二等分し、かつ基板の挿入方向と略直交する直交面までの距離を、凹部の形成されていない蓋体の表面から該直交面までの距離よりも短くしたことを特徴とする基板収納容器。

IPC (1件)：

H01L 21/673

FI (1件)：

H01L21/68 T

Fターム (12件)：

5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA03 , 5F031EA06 , 5F031EA09 , 5F031EA10 , 5F031EA11 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031PA21

引用特許：

出願人引用 (1件)

収納容器の蓋体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-371634 出願人：信越ポリマー株式会社

審査官引用 (3件)

基板収納容器の蓋体係止機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-330742 出願人：信越ポリマー株式会社
精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-414072 出願人：信越ポリマー株式会社
収納容器の蓋体
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-371634 出願人：信越ポリマー株式会社

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