精密基板収納容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：藤本英介 , 神田正義 , 宮尾明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-414072
公開番号（公開出願番号）：特開2004-140395
出願日： 2003年12月12日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】容器本体を大型化しても、容器本体の開口正面を適切にシールでき、精密基板の汚染の抑制防止を図り得る精密基板収納容器を提供する。【解決手段】ウェーハを収納するポッド1と、ポッド1の開口正面内にシールガスケットを介し嵌合されてシールする開閉可能な蓋体9と、蓋体9を閉塞状態に固定するロック手段とを備える。そして、ロック手段を、ポッド1の開口正面内周に形成されるクランプ穴19と、蓋体9に内蔵されて蓋体表面の鍵孔21を介した外部からのアクセスにより回転する回転プレート34と、回転プレート34の回転により蓋体内部の内外方向に進退動する進退動プレート38と、摩擦低減機能を有し、進退動プレート38の進出時に蓋体周面に穿孔された貫通孔20からポッド1のクランプ穴19に嵌入され、進退動プレート38の後退時にポッド1のクランプ穴19から蓋体9の貫通孔20に復帰する回転ローラ55とから構成する。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

精密基板を収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面内にシールガスケットを介し嵌め合わされてシールする開閉可能な中空の蓋体と、この蓋体を閉塞状態に固定するロック手段とを含んでなる精密基板収納容器であって、ロック手段を、容器本体の開口正面内周に形成されるクランプ穴と、蓋体に内蔵されて蓋体表面の鍵孔を介した外部からの操作により回転する回転体と、この回転体の回転により蓋体内部の内外方向に進退動する進退動部材と、摩擦低減機能を有し、進退動部材の進出時には蓋体周面に設けられた貫通孔から容器本体のクランプ穴に嵌め入れられ、進退動部材の後退時には容器本体のクランプ穴から外れて蓋体の貫通孔に復帰する回転ローラとから構成したことを特徴とする精密基板収納容器。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 T

Fターム (12件)：

5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA11 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031EA20 , 5F031LA11 , 5F031PA26

引用特許：

出願人引用 (8件)

コンテナのドアの施錠及び開錠のための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-128360 出願人：イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
ウエハ保管装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-171478 出願人：神鋼電機株式会社
特表平4-505234号公報

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審査官引用 (4件)

半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-068465 出願人：イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
特表平4-505234
密閉コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-018464 出願人：神鋼電機株式会社

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