特許
J-GLOBAL ID：200903009234289961

基板冷却装置

発明者：
宮路 恭祥

宮路 恭祥 について

, 
木村 貴弘

木村 貴弘 について


出願人/特許権者：
株式会社フューチャービジョン

株式会社フューチャービジョン について


代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-302713
公開番号（公開出願番号）：特開2006-111428
出願日： 2004年10月18日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 装置コストの高騰を抑えた上で、基板の冷却処理の効率化を達成することができるようにする。【解決手段】 焼成処理が施された直後の基板Bに対して冷却処理を施すものであり、基板Bを連続的に搬送する基板搬送路14の途中で基板Bの片面と対向配置された冷却プレート30と、この冷却プレート30と基板Bとの間が離間した下方位置L1と冷却プレート30と基板Bとが当接した上方位置L2との間で位置変化させる離接機構部としての昇降機構60とを備えて構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板を支持して搬送するコンベアと、 前記コンベアに支持される基板を冷却する冷却手段と、 前記冷却手段に対して前記基板が往復移動するように前記コンベアを正転逆転制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする基板冷却装置。
IPC (2件)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
B65G49/06 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (16件)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031JA30 ,  5F031JA46 ,  5F031JA51 ,  5F031LA07 ,  5F031LA14 ,  5F031MA21 ,  5F031MA30 ,  5F031PA03 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
  • ガラス基板の冷却装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-215559   出願人：東レエンジニアリング株式会社
  • 特開昭52-044815
  • 特開昭52-044815
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