特許
J-GLOBAL ID：200903009246281303
化学気相蒸着装置およびこれを用いたカーボンナノチューブ合成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-225525
公開番号（公開出願番号）：特開2001-081564
出願日： 2000年07月26日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：
【要約】【課題】 カーボンナノチューブを大量に合成するための化学気相蒸着装置およびそれを用いたカーボンナノチューブ合成方法を提供する。【解決手段】 基板1300上にカーボンナノチューブ3000を成長させる化学気相蒸着装置において、水平方向に平行に多数枚搭載される基板1300を各々支持する支持突起、および支持突起が設けられた多数本の垂直軸を含むボートを利用する。また、両端部に反応ガスの供給および排出のための通路をもち、ボートが内部に装着されるように直方体形状の内部形状をなす反応炉、反応炉の外部に設けられる加熱手段を含む化学気相蒸着装置を提供する。このような化学気相蒸着装置を用いてカーボンナノチューブを大量に合成することができる。
請求項（抜粋）：
基板上にカーボンナノチューブを形成させる化学気相蒸着装置において、水平方向に平行に多数枚搭載される前記基板を各々支持する支持突起、および前記支持突起が設けられた多数本の垂直軸を含むボートと、両端部に反応ガスの供給および排出のための通路をもち、前記ボートを装着するため内部が直方体形状をなす反応炉と、前記反応炉の外部に設けられる加熱手段と、を備えていることを特徴とする化学気相蒸着装置。
IPC (5件)：
C23C 16/26
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101
, C30B 29/66
, H01L 21/205
C23C 16/26
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101 F
, C30B 29/66
, H01L 21/205
