特許

J-GLOBAL ID：200903009253938032

表示用基板の受け渡し装置

発明者： 池内 秀樹 ,  塩野 勝美 ,  伊藤 豪文
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-108928
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305229
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板を斜めに維持した状態で検査する装置に適用することができることができるにもかかわらず、装置が簡略化することにある。【解決手段】 表示用基板12の受け渡し装置72は、複数の基板12をその厚さ方向に間隔をおいて収容可能のカセット14を支持するカセット支持機構70であって、カセット14に収容される基板12が斜めとなる状態にカセット14を斜めに支持可能のカセット支持機構70と、カセット支持機構70に斜めに支持されたカセット14に対し基板12を斜めの状態で受け渡する基板受け渡し機構72とを含む。

請求項（抜粋）：

複数の基板をその厚さ方向に間隔をおいて収容可能のカセットを支持するカセット支持機構であって前記カセットに収容される基板が斜めとなる状態に前記カセットを斜めに支持可能のカセット支持機構と、前記カセット支持機構に斜めに支持された前記カセットに対し基板を斜めの状態で受け渡する基板受け渡し機構とを含む、表示用基板の受け渡し装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 A

Fターム (36件)：

5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA18 ,  5F031FA22 ,  5F031GA05 ,  5F031GA15 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA46 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA60 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA23 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA10 ,  5F031LA12 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 半導体基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-206351   出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社
• 特開昭63-134442
  
• ロボツトハンドによるデイスクの掴取方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-304557   出願人：富士通株式会社
• カセット載置装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-152679   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 特開昭63-134442