特許
J-GLOBAL ID：200903009365124160

パターン画像取得方法およびパターン画像取得装置

発明者：
菅野 明郎

菅野 明郎 について

, 
中村 直行

中村 直行 について


出願人/特許権者：
株式会社ホロン

株式会社ホロン について


代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-009253
公開番号（公開出願番号）：特開2007-192594
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【目的】本発明は、検出対象のパターンのパターン画像を取得するパターン画像取得方法およびパターン画像取得装置に関し、マスクなどの検出対象のパターンに対して回転させて平行とならないようにしてビームを走査しそのときの信号を検出してエッジ検出してパターン画像を取得し、迅速かつ安定かつ高精度にパターン画像を取得することを目的とする。【構成】 検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向あるいは検出対象のパターンを回転させるステップと、検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向が回転された状態で、パターンを異なる位置で横切る複数本の走査を行ってラインプロファイルを取得するステップと、取得したラインプロファイルをもとにパターンのエッジ位置を検出するステップとを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検出対象のパターンのパターン画像を取得するパターン画像取得方法において、 検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向あるいは検出対象のパターンを回転させるステップと、 前記検出対象のパターンと平行とならないようにビームの走査方向が回転された状態で、当該パターンを異なる位置で横切る複数本の走査を行ってラインプロファイルを取得するステップと、 前記取得したラインプロファイルをもとに前記パターンのエッジ位置を検出するステップと を有するパターン画像取得方法。
IPC (3件)：
G01B 15/04 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28
FI (3件)：
G01B15/04 K ,  H01J37/22 502B ,  H01J37/28 B
Fターム (21件)：
2F067AA26 ,  2F067AA54 ,  2F067BB04 ,  2F067BB21 ,  2F067CC15 ,  2F067EE10 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK06 ,  2F067KK08 ,  2F067NN04 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR30 ,  2F067RR31 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13 ,  5C033UU01 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08
引用特許：
審査官引用 (6件)
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