特許
J-GLOBAL ID:200903009368251316

形状計測装置、外観検査装置、寸法検査装置、体積検査装置および変位・変形計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-086704
公開番号(公開出願番号):特開2003-279333
出願日: 2002年03月26日
公開日(公表日): 2003年10月02日
要約:
【要約】【課題】 簡便に、高精度に、非接触で測定できる形状計測装置、外観検査装置、寸法検査装置、体積検査装置および変位・変形計測装置を提供すること。【解決手段】 被形状計測対象物にレーザー走査装置1からパルスレーザー光を照射、走査して発生する被形状計測対象物からの反射光を受光し光電変換して反射点データ収集手段2により反射点データを収集する。この反射点データをポリゴン処理3して3次元形状データ生成手段4で3次元形状データを生成し、予め定められた標準の3次元CADデータとを重ね合わせて合成して、ずれ量を算出する。
請求項(抜粋):
被形状計測対象物に反射ビームが干渉する照射ビームを照射する照射ビーム照射手段と、前記照射ビームに照射され前記被形状計測対象物からの反射ビームを電気信号に変換して反射点データを収集する反射点データ収集手段と、前記反射点データをポリゴン処理して3次元形状データを生成する3次元形状データ生成手段と、前記3次元形状データと予め定められた標準の3次元CADデータとを重ね合わせて合成する合成手段とを具備してなることを特徴とする形状計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/16 ,  G06T 17/40
FI (3件):
G01B 11/16 G ,  G06T 17/40 A ,  G01B 11/24 A
Fターム (27件):
2F065AA04 ,  2F065AA09 ,  2F065AA21 ,  2F065AA53 ,  2F065AA59 ,  2F065CC00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF12 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL15 ,  2F065LL30 ,  2F065LL51 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ51 ,  2F065SS04 ,  5B050AA03 ,  5B050BA09 ,  5B050BA13 ,  5B050BA18 ,  5B050EA19 ,  5B050EA28
引用特許:
審査官引用 (4件)
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