搬送ロボット

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-256092
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066966
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】被搬送物Wを保持する保持アームの旋回時に生じる時間遅れやグラツキを低減でき、組み立て時における面倒且つ煩雑な作業を不要にでき、しかも超高真空中での使用時におけるアウトガスの発生を抑制できる搬送ロボットを提供する。【解決手段】駆動モータ3から回転トルクが付与される第1アーム4の先端側に、第2アーム5および保持アーム6を順次連結し、第1アーム4の旋回に伴ってリンク動作する第1リンク機構18と、第1リンク機構18のリンク動作に連動して第2アーム5を旋回させる遊星歯車機構12と、第2アーム5の旋回に伴って第1リンク機構18に連動しつつリンク動作して保持アーム6を旋回させる第2リンク機構19とを備える。

請求項（抜粋）：

駆動源から回転トルクが付与される第1アームの先端側に、第2アームと、被搬送物を保持する保持アームとを順次連結し、前記第1アームの一方側への旋回に伴って、前記第2アームが他方側に旋回し且つ前記保持アームが一方側に旋回するように構成した搬送ロボットにおいて、前記第1アームの旋回に伴ってリンク動作する第1リンク機構と、該第1リンク機構のリンク動作に連動して前記第2アームを旋回させる角度変換機構と、前記第2アームの旋回に伴って前記第1リンク機構に連動しつつリンク動作して前記保持アームを旋回させる第2リンク機構とを備えたことを特徴とする搬送ロボット。

IPC (4件)：

B25J 9/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 9/06 D , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 D , H01L 21/68 A

Fターム (27件)：

3F060AA01 , 3F060AA07 , 3F060CA24 , 3F060DA10 , 3F060EA01 , 3F060EB02 , 3F060EB12 , 3F060EC02 , 3F060EC12 , 3F060FA02 , 3F060GA05 , 3F060GA13 , 3F060GB02 , 3F060GB06 , 3F060GB12 , 3F060GB21 , 3F060GD14 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031GA08 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031LA07 , 5F031LA13 , 5F031LA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

薄型ワークの搬送用ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-158533 出願人：株式会社メックス
リンク装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-231877 出願人：川田静二郎
特開昭62-106167

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