特許
J-GLOBAL ID:200903009491548404
無機多孔質分離膜およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池田 治幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-085019
公開番号(公開出願番号):特開2006-263566
出願日: 2005年03月23日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
【課題】 ガスや液体の透過性が高く且つ分離性能の高い無機多孔質分離膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】 圧力及び周波数を制御したPLD法で一様な開口径の多数の細孔24が配向した中間層16が形成され、その表面やその細孔24内に多孔質の薄膜層18が形成されることから、その細孔24の開口径がその薄膜層18によって縮小される。そのため、微細且つ開口径が一様な細孔が形成される。したがって、水素やアルコール等の処理対象物に合わせて薄膜層18形成後の細孔径を制御することにより、分離性能の高い無機多孔質分離膜10が得られる。しかも、このように細孔径を縮小しても、中間層16の細孔24が配向していることから、配向していない場合に比較して細孔24内をガスや液体が流れるときの流通抵抗が低く留められるので、ガスや液体が通るときの透過速度も高くなる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
膜厚方向に配向し且つ貫通する一様な開口径の多数の細孔を備えた無機多孔質膜と、
その無機多孔質膜の表面および前記細孔内の少なくとも一方に形成された多孔質の無機薄膜と
を、含むことを特徴とする無機多孔質分離膜。
IPC (4件):
B01D 71/02
, B01D 69/12
, C01B 3/56
, C23C 14/28
FI (5件):
B01D71/02
, B01D71/02 500
, B01D69/12
, C01B3/56 Z
, C23C14/28
Fターム (29件):
4D006GA01
, 4D006GA41
, 4D006MA03
, 4D006MA07
, 4D006MA08
, 4D006MA09
, 4D006MA22
, 4D006MB01
, 4D006MB04
, 4D006MB09
, 4D006MB10
, 4D006MC03X
, 4D006NA31
, 4D006NA39
, 4D006NA50
, 4D006PA05
, 4D006PB32
, 4D006PB66
, 4G140FA06
, 4G140FB09
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 4K029BA35
, 4K029BA46
, 4K029BA58
, 4K029BB07
, 4K029BC00
, 4K029DB20
, 4K029EA03
引用特許:
出願人引用 (8件)
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特許第2972876号公報
-
特許第2976010号公報
-
特許第3122758号公報
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審査官引用 (2件)
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