ガラス光導波膜の作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147758
公開番号（公開出願番号）：特開2000-335926
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】屈折率分布の小さい均一なガラス光導波膜を作製するガラス光導波膜の作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】回転するターンテーブル31に配置された基板11に、ガラス微粒子を合成するバーナ21によりガラス微粒子を直接吹き付けて堆積しガラス微粒子堆積層を形成した後、高温で透明ガラス化するガラス光導波膜の作製方法において、(a)バーナと基板の相対速度をほぼ一定にした制御、(b)熱源による基板、又は、ターンテーブルの温度をバーナと基板の相対速度にほぼ合わせた制御、(c)原料供給量をバーナと基板の相対速度にほぼ合わせた制御の、3つの制御のうち少なくとも1つを用いる。

請求項（抜粋）：

回転するターンテーブルに配置された基板に、このターンテーブル外周から中心の回転軸方向に可動のガラス微粒子合成バーナによりガラス微粒子を直接吹き付けて堆積しガラス微粒子層を形成した後、高温で透明ガラス化するガラス光導波膜の作製方法において、次の(a)乃至(c)の制御のうち、少なくとも1つを用いることを特徴とするガラス光導波膜の作製方法。(a) 前記ガラス微粒子合成バーナに対する前記基板の相対速度がほぼ一定となるように前記ターンテーブルの回転速度を制御すること(b) 前記基板を加熱するために前記ターンテーブルに配置された熱源による前記基板又は前記ターンテーブルの温度を前記ガラス微粒子合成バーナに対する前記基板の相対速度にほぼ合わせて制御すること、あるいは、前記熱源による前記基板又は前記ターンテーブルの温度分布を前記基板若しくは前記ターンテーブル内の位置での前記ガラス微粒子合成バーナと前記基板の相対速度にほぼ合わせて制御すること(c) 前記ガラス微粒子合成バーナに対する基板の相対速度にほぼ合わせて原料供給量を制御すること

IPC (2件)：

C03B 19/14 , G02B 6/13

FI (2件)：

C03B 19/14 A , G02B 6/12 M

Fターム (7件)：

2H047KA04 , 2H047PA01 , 2H047QA04 , 2H047QA07 , 2H047TA42 , 4G014AH15 , 4G014AH23

引用特許：

出願人引用 (3件)

光導波路の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-164491 出願人：住友電気工業株式会社
光導波路膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-094534 出願人：古河電気工業株式会社
火炎堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168656 出願人：古河電気工業株式会社

審査官引用 (3件)

光導波路の作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-164491 出願人：住友電気工業株式会社
光導波路膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-094534 出願人：古河電気工業株式会社
火炎堆積方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168656 出願人：古河電気工業株式会社

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