特許
J-GLOBAL ID：200903009776581960

両面研磨装置

発明者：
渡邉 哲也

渡邉 哲也 について

, 
渡邉 一史

渡邉 一史 について


出願人/特許権者：
株式会社大田光学研究所

株式会社大田光学研究所 について


代理人 (1件)： 平野 玄陽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-058613
公開番号（公開出願番号）：特開2006-239809
出願日： 2005年03月03日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：
【課題】 装置を大型化することなく、大きなワークを精度良く、効率良く、平行平面状に研磨でき、またワークのセット作業を容易化できると共に、作業時の安全性を確保でき、更には研磨度合いの調整幅、研磨の自由度を高めることができるようにする。【解決手段】 夫々独立して回転する上定盤1と下定盤2とで、キャリヤ5に水平に保持されているワーク6の上下の両面を平行平面状に研磨する両面研磨装置であって、キャリヤ5を、左右方向に揺れ動かす揺動機構7を備える。この揺動機構7を、キャリヤ5を後側から両腕で抱える状態に形成している腕形フレーム8と、この腕形フレーム8の後側に設けて腕形フレーム8が水平状態で左右方向に揺動するときの回転中心となる縦軸9と、この縦軸9を中心に腕形フレーム8を左右方向に揺動させる駆動装置10とで形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
夫々独立して回転する上定盤と下定盤とで、キャリヤに水平に保持されているワークの上下の両面を平行平面状に研磨する両面研磨装置であって、上記のキャリヤを左右方向に揺れ動かす揺動機構を備え、この揺動機構が、キャリアを後側から両腕で抱える状態に形成されている腕形フレームと、この腕形フレームの後側に設けられて腕形フレームが水平状態で左右方向に揺動するときの回転中心となる縦軸と、この縦軸を中心に腕形フレームを左右方向に揺動させる駆動装置とで形成されていることを特徴とする両面研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  B24B 47/16
FI (3件)：
B24B37/04 E ,  B24B37/04 F ,  B24B47/16
Fターム (13件)：
3C034AA08 ,  3C034BB72 ,  3C034BB75 ,  3C034BB87 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058AB09 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA10
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 平面研磨装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339361   出願人：株式会社ユーティーケー・システム
審査官引用 (4件)
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