特許
J-GLOBAL ID：200903009958283094

写像型電子顕微鏡

発明者：
高木 徹

高木 徹 について

, 
木原 直人

木原 直人 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-147430
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340160
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 試料のチャージアップ量を、像観察に必要な最低量と、試料自身を損傷させることなく、かつ、歪みの少ない観察画像を得られる最大量の間になるように制御の可能な写像型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 照明鏡筒11は光軸とθ1の角度、照明鏡筒12は光軸とθ2の角度をなして設けられ、ウィーンフィルター13の中心に向けて電子ビームを放出している。これらの電子ビームは、ウィーンフィルター13によって偏向され、ウィーンフィルター13を出た2つの電子ビームは、その後カソードレンズ14を介して、リターディング電圧により減速され、試料面15の所定範囲を垂直に落射照明する。2つの電子ビームの電流量とエネルギーに所定の関係を持たせることにより、試料面の異なる絶縁体に、所定量のチャージアップ量を与えることができる。
請求項（抜粋）：
電子源からの電子を被観察体の観察面に照射する照明光学系と、観察面から発生する結像電子を撮像面へと写像する電子結像光学系とを有し、照明光学系は、被観察体の複数の所定部におけるチャージアップによる表面電位の変化を、それぞれの所定値にするような機能を有することを特徴とする写像型電子顕微鏡。
IPC (5件)：
H01J 37/285 ,  G01B 15/00 ,  G01B 15/04 ,  H01J 37/05 ,  H01L 21/66
FI (5件)：
H01J 37/285 ,  G01B 15/00 B ,  G01B 15/04 ,  H01J 37/05 ,  H01L 21/66 J
Fターム (22件)：
2F067AA03 ,  2F067AA43 ,  2F067AA45 ,  2F067AA46 ,  2F067AA53 ,  2F067EE03 ,  2F067EE09 ,  2F067EE16 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067QQ02 ,  2F067QQ03 ,  2F067UU32 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB30 ,  5C033AA02 ,  5C033AA05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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