特許
J-GLOBAL ID：200903081613630380
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-234466
公開番号（公開出願番号）：特開平11-073905
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、半導体ウェーハの回路パターン像等を取得する検査装置に関し、特に試料全体から一部分までを高速かつ高感度に検査することができる。【解決手段】 ステージ1と、試料に電子ビームを照射する照射手段2と、電子ビームの照射によって試料から発生する二次電子等から試料の画像情報を生成する電子検出手段3と、ステージ1を駆動するステージ駆動手段4と、二次ビームを偏向する偏向手段5とを備え、電子検出手段3は、蛍光部6と、TDIアレイCCDセンサ7と、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせる制御部8とを備えて構成され、試料の移動に応じて、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせるステージ走査モードと、偏向手段5による電子検出手段3に投影される二次ビームの投影位置に応じて、TDIアレイCCDセンサ7に蓄積される電荷をシフトさせる偏向器走査モードとを有する。
請求項（抜粋）：
試料が載置され、駆動可能なステージと、前記ステージに載置される試料に電子ビームを照射する照射手段と、前記電子ビームの照射によって、前記試料から発生する二次電子、反射電子または後方散乱電子の少なくとも1種が、二次ビームとして投影され、前記試料の画像情報を生成する電子検出手段と、前記ステージを駆動するステージ駆動手段と、前記二次ビームを偏向する偏向手段とを備え、前記電子検出手段は、前記二次ビームを光に変換する蛍光部と、該光を光電変換し、変換された電荷を蓄積するTDIアレイCCDセンサと、該TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせる制御部とを備えて構成され、前記ステージ駆動手段による前記試料の移動により、前記電子検出手段に投影される二次ビームの投影位置が変動し、その変動に応じて、前記制御部は、前記TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせるステージ走査モードと、前記偏向手段によって前記電子検出手段に投影される二次ビームの投影位置が変動し、その変動に応じて、前記制御部は、前記TDIアレイCCDセンサに蓄積される電荷をシフトさせる偏向器走査モードとを有することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (6件)：
H01J 37/22 502
, G01N 23/20
, G01N 23/225
, H01J 37/20
, H01J 37/244
, H01L 21/66
H01J 37/22 502 B
, G01N 23/20
, G01N 23/225
, H01J 37/20 D
, H01J 37/244
, H01L 21/66 J
