特許
J-GLOBAL ID：200903009967514686

硬質皮膜、硬質皮膜形成用ターゲット、および硬質皮膜の製造方法

発明者：
山本 兼司

山本 兼司 について


出願人/特許権者：
株式会社神戸製鋼所

株式会社神戸製鋼所 について


代理人 (4件)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  二口 治 ,  伊藤 浩彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-310339
公開番号（公開出願番号）：特開2006-249574
出願日： 2005年10月25日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】本発明の課題は、硬度と潤滑性に優れた硬質皮膜およびその関連技術を提供することにある。【解決手段】本発明は、(Al1-aVa)(C1-XNX)からなる硬質皮膜であって、0.27≦a≦0.75、0.3≦X≦1(式中、aおよびXは互いに独立して、原子比を示す)であることを特徴とする硬質皮膜を提供することで上記課題を解決した。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(Al1-aVa)(C1-XNX)からなる硬質皮膜であって、 0.27≦a≦0.75、 0.3≦X≦1 (式中、aおよびXは互いに独立して、原子比を示す) であることを特徴とする硬質皮膜。
IPC (5件)：
C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  B23B 27/14 ,  B23B 51/00 ,  B23C 5/16
FI (5件)：
C23C14/06 H ,  C23C14/32 A ,  B23B27/14 A ,  B23B51/00 J ,  B23C5/16
Fターム (17件)：
3C037CC02 ,  3C037CC04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF19 ,  3C046FF25 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA29 ,  4K029BA54 ,  4K029BB02 ,  4K029BC01 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029DD06
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
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