特許
J-GLOBAL ID:200903082525197788
切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221772
公開番号(公開出願番号):特開2003-034858
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 TiAlN膜よりも耐摩耗特性に優れた切削工具用硬質皮膜を提供する。【解決手段】 (Ti<SB>a</SB>,Al<SB>b</SB>,V<SB>c</SB>)(C<SB>1-d</SB>N<SB>d</SB>)からなる硬質皮膜であって、0.02≦a≦0.3、0.5<b≦0.8、0.05<c、0.7≦b+c、a+b+c=1、および0.5≦d≦1(a,b,cはそれぞれTi,Al,Vの原子比を示し、dはNの原子比を示す)を満たすようにする。
請求項(抜粋):
(Ti<SB>a</SB>,Al<SB>b</SB>,V<SB>c</SB>)(C<SB>1-d</SB>N<SB>d</SB>)からなる硬質皮膜であって、0.02≦a≦0.3、0.5<b≦0.8、0.05<c、0.7≦b+c、a+b+c=1、0.5≦d≦1(a,b,cはそれぞれTi,Al,Vの原子比を示し、dはNの原子比を示す。以下同じ)であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
IPC (3件):
C23C 14/06
, B23B 27/14
, C23C 14/34
FI (3件):
C23C 14/06 H
, B23B 27/14 A
, C23C 14/34 A
Fターム (14件):
3C046FF02
, 3C046FF09
, 3C046FF10
, 3C046FF11
, 3C046FF13
, 3C046FF16
, 3C046FF22
, 4K029BA54
, 4K029BB02
, 4K029BB07
, 4K029BD05
, 4K029CA03
, 4K029CA13
, 4K029DD06
引用特許:
審査官引用 (12件)
-
被覆工具およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-036567
出願人:住友電気工業株式会社
-
被覆硬質部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-034612
出願人:日立ツール株式会社
-
真空アーク蒸発源
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-072174
出願人:株式会社神戸製鋼所
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