特許
J-GLOBAL ID:200903082525197788

切削工具用硬質皮膜およびその製造方法並びに硬質皮膜形成用ターゲット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221772
公開番号(公開出願番号):特開2003-034858
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 TiAlN膜よりも耐摩耗特性に優れた切削工具用硬質皮膜を提供する。【解決手段】 (Ti<SB>a</SB>,Al<SB>b</SB>,V<SB>c</SB>)(C<SB>1-d</SB>N<SB>d</SB>)からなる硬質皮膜であって、0.02≦a≦0.3、0.5<b≦0.8、0.05<c、0.7≦b+c、a+b+c=1、および0.5≦d≦1(a,b,cはそれぞれTi,Al,Vの原子比を示し、dはNの原子比を示す)を満たすようにする。
請求項(抜粋):
(Ti<SB>a</SB>,Al<SB>b</SB>,V<SB>c</SB>)(C<SB>1-d</SB>N<SB>d</SB>)からなる硬質皮膜であって、0.02≦a≦0.3、0.5<b≦0.8、0.05<c、0.7≦b+c、a+b+c=1、0.5≦d≦1(a,b,cはそれぞれTi,Al,Vの原子比を示し、dはNの原子比を示す。以下同じ)であることを特徴とする切削工具用硬質皮膜。
IPC (3件):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 14/34
FI (3件):
C23C 14/06 H ,  B23B 27/14 A ,  C23C 14/34 A
Fターム (14件):
3C046FF02 ,  3C046FF09 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF13 ,  3C046FF16 ,  3C046FF22 ,  4K029BA54 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BD05 ,  4K029CA03 ,  4K029CA13 ,  4K029DD06
引用特許:
審査官引用 (12件)
全件表示

前のページに戻る