特許
J-GLOBAL ID:200903009976060310
微粒子構造体とその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
友松 英爾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-400534
公開番号(公開出願番号):特開2003-149401
出願日: 2001年12月28日
公開日(公表日): 2003年05月21日
要約:
【要約】【課題】 同一基板上に異なった周期構造を持つ微粒子構造体及びその製造方法提供。【解決手段】 1)第一の微粒子構造体と第二の微粒子構造体とが同一基板上に形成され、該第一の微粒子構造体は、微粒子の粒子径が均一であり、且つ微粒子の配置位置が周期構造を有しており、該第二の微粒子構造体は、微粒子の粒子径が均一であり、且つ微粒子の配置位置が第一の微粒子構造体とは異なる周期構造を有しており、更に、第一の微粒子構造体と第二の微粒子構造体は、それぞれ任意の形状にパターニングされていることを特徴とする微粒子構造体。2)粒子径の均一な微粒子の分散液を、表面に凹形状パターンを有する基板上に塗布・展開し乾燥させて微粒子膜を形成する工程と、該微粒子膜を微細物品を吸着し得る機能を有する吸着器具を用いて基板から剥がし、前記微粒子膜同士を積み重ねて微粒子構造体を形成する工程とを含む微粒子構造体の製造方法。
請求項(抜粋):
粒子径の均一な微粒子からなり、互いに異なる周期構造を有すると共に任意の形状にパターニングされている、第一の微粒子構造体と第二の微粒子構造体とが同一基板上に形成されていることを特徴とする微粒子構造体。
IPC (4件):
G02B 1/02
, B01J 19/00
, G02B 5/18
, G02B 6/12
FI (4件):
G02B 1/02
, B01J 19/00 K
, G02B 5/18
, G02B 6/12 Z
Fターム (23件):
2H047KA03
, 2H047LA05
, 2H047LA09
, 2H047QA01
, 2H047QA04
, 2H049AA01
, 2H049AA31
, 2H049AA37
, 2H049AA44
, 2H049AA62
, 4G075AA24
, 4G075AA27
, 4G075BB02
, 4G075BB08
, 4G075BB10
, 4G075CA02
, 4G075CA13
, 4G075DA02
, 4G075EA02
, 4G075EB01
, 4G075EE13
, 4G075FA05
, 4G075FB06
引用特許:
引用文献:
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