特許
J-GLOBAL ID：200903009993185054
放電プラズマ形成用電極
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-047580
公開番号（公開出願番号）：特開2006-236697
出願日： 2005年02月23日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】放電プラズマの均一性が高い放電プラズマ形成用電極、およびそれを用いたプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】1ターン以上の螺旋溝を形成した棒またはパイプを巻芯として、電極となる金属チューブを前記螺旋溝に巻きつけて作製することで形状精度を高めた螺旋状電極を作製し、得られた螺旋状電極を二本用いて一組の二重螺旋状に嵌合した、二重螺旋状のプラズマ形成用電極を用いる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
放電プラズマ発生装置に用いる、一対の金属チューブを用いた二重螺旋状の電極であって、螺旋のピッチが螺旋の内径よりも長くかつ螺旋のピッチのばらつきが3%以下である、均一なプラズマを発生させることができる二重螺旋状電極。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H05H1/24
, C08J7/00 306
, C08J7/00
4F073AA01
, 4F073BA07
, 4F073BA08
, 4F073BA13
, 4F073BA16
, 4F073BA19
, 4F073BA20
, 4F073BA24
, 4F073BA28
, 4F073BA33
, 4F073CA01
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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