VHFプラズマ生成用電極装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134033
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323297
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 VHF(超高周波)の電圧を印加しても大面積で均一なプラズマを発生させることができるVHFプラズマ生成用電極装置を提供すること。【解決手段】 2本の線状の電極2,3を蛇行状に配設し、それぞれの端部に第1の電源4と第2の電源6を接続する。第1の電源4により一方の電極2に印加される高周波の電圧と第2の電極6により他方の電極3に印加される高周波の電圧の位相を位相制御手段8により180 ゚ずらす。すると合成波はフラットな波形になり、電極近傍の電場強度は均一になる。

請求項（抜粋）：

線状の電極と、この電極に高周波電圧を印加する第1の電源および第2の電源とを備え、第1の電極と第2の電極の位相を位相制御手段によりずらすことにより、第1の電源により発生する電界強度と第2の電源により発生する電界強度を合成してフラットな電界強度を生じさせるようにしたことを特徴とするVHFプラズマ生成用電極装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (4件)：

H05H 1/46 L , H05H 1/46 M , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

Fターム (10件)：

5F004AA01 , 5F004BA06 , 5F004BB13 , 5F004CA09 , 5F045AA08 , 5F045BB01 , 5F045EH01 , 5F045EH04 , 5F045EH14 , 5F045EH19

引用特許：

審査官引用 (9件)

プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-270105 出願人：株式会社神戸製鋼所
プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-178842 出願人：松下電器産業株式会社
特開平4-021781

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