特許

J-GLOBAL ID：200903010055924717

石英ルツボ

発明者： 濱野 力 ,  山口 博
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-273466
公開番号（公開出願番号）：特開2006-089301
出願日： 2004年09月21日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：

【課題】 本発明は、気泡膨れを効果的に抑止することのできるルツボを実現することを目的とする。【解決手段】 本発明は、内周側に透明石英からなる透明層を有し、この外周側に多数の閉気孔を含んだ不透明石英からなる不透明石英層を有する石英ルツボにおいて、透明層の赤色蛍光強度が0.05を超え0.5以下で、且つ不透明層と透明層における赤色蛍光強度の平均値の差が、0.9以上、同じく比が0.3以上であることを特徴とする石英ルツボである。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

内周側に透明石英からなる透明層を有し、この外周側に多数の閉気孔を含んだ不透明石英からなる不透明石英層を有する石英ルツボにおいて、透明層の赤色蛍光強度が0.05を超え0.5以下で、且つ不透明層と透明層における赤色蛍光強度の平均値の差が、0.9以上、同じく比が3.0以上であることを特徴とする石英ルツボ。

IPC (3件)：

C30B 15/10 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06

FI (3件)：

C30B15/10 ,  C03B20/00 H ,  C30B29/06 502B

Fターム (8件)：

4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01 ,  4G077PD05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 石英ガラスルツボおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154295   出願人：東芝セラミックス株式会社

審査官引用 (4件)

• 石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-068635   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 特開平1-157427
  
• 半導体シリコン単結晶引上げ用ルツボおよび製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-344710   出願人：株式会社楠和クォルツ, 群馬県
• Si単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-113916   出願人：東芝セラミックス株式会社