特許
J-GLOBAL ID：200903010093110936
加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-284289
公開番号（公開出願番号）：特開2009-107097
出願日： 2007年10月31日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：
【課題】ウェーハなどのワークを搬送するにあたり、そのワークに、外周領域が上がるように反りが生じていた場合にも、ワークを搬送先へ確実に搬送し、搬送先へ確実に保持させることのできる搬送装置を提供する。【解決手段】研削加工装置は位置決めテーブルとチャックテーブル20と研削ユニットと位置決めテーブルからチャックテーブル20までウェーハ1を搬送する供給手段とを備える。供給手段はウェーハ1の表面1aの中心領域を吸引保持する吸着パッド65と、ウェーハ1の表面1a側の外周領域2を裏面側に向けて押圧する複数の押圧パッド70を備えたハンド部と、ハンド部を押圧パッド70の押圧方向に進退させるシリンダ63とで構成される保持ユニットと、保持ユニットを位置決めテーブルからチャックテーブル20まで移動させる供給アームとを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
板状のワークを仮置きする仮置きテーブルと、
前記ワークを保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに保持された前記ワークに所定の加工を施す加工手段と、
前記仮置きテーブルから前記チャックテーブルまで前記ワークを搬送する搬送手段とを少なくとも備えた加工装置であって、
前記搬送手段は、
前記ワークの一面側の中心領域を吸引、保持する吸引部と、該吸引部の周囲に配設され、ワークの一面側の外周領域を他面側に向けて押圧する複数の押圧パッドを備えた押圧手段と、該押圧手段を前記押圧パッドの押圧方向に進退させる進退手段とで構成される保持ユニットと、
該保持ユニットを、前記仮置きテーブルから前記チャックテーブルまで移動させる移動手段とを少なくとも備えることを特徴とする加工装置。
IPC (4件)：
B24B 41/06
, H01L 21/304
, B24B 7/22
, H01L 21/677
B24B41/06 A
, H01L21/304 631
, H01L21/304 622L
, B24B7/22 Z
, H01L21/68 B
3C034AA08
, 3C034BB82
, 3C034DD10
, 3C043BB03
, 3C043CC04
, 3C043DD14
, 3C043EE04
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA08
, 5F031MA22
, 5F031PA14
