特許
J-GLOBAL ID:200903010141285131

検査対象物の基準マーク検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久留 徹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-274444
公開番号(公開出願番号):特開2005-038178
出願日: 2003年07月15日
公開日(公表日): 2005年02月10日
要約:
【課題】基準マークの輪郭部分に欠けや変形を生じていた場合であっても迅速かつ確実にその重心位置を検出できるような装置を提供することを目的とするものである。【解決手段】基準マーク20bを有する検査対象物の表面を撮像する撮像手段3と、この撮像手段3によって撮像された基準マーク20bの画像を二値化する二値化手段6と、あらかじめ基準マーク20bに対する内側リング領域22と外側リング領域23の領域を記憶する記憶手段16と、この内側リング領域22の輝度と外側リング領域23の輝度との差が最大となる位置を検出する最大輝度検出手段14とを備え、この検出された位置における中間領域の形状に基づいて基準マーク20bの重心位置を検出する。 【選択図】図5
請求項(抜粋):
基準マークを有する検査対象物の表面を撮像する撮像手段と、 この撮像手段によって撮像された基準マークの画像を二値化する二値化手段と、 あらかじめ基準マークに対する内側の輝度検出領域と外側の輝度検出領域を記憶する記憶手段と、 この内側の輝度検出領域の輝度と外側の輝度検出領域の輝度との差が最大となる位置を検出する位置検出手段とを備え、 この検出された位置における内側の輝度検出領域もしくは外側の輝度検出領域もしくはその間の中間領域の形状に基づいて基準マークの重心位置を検出するようにしたことを特徴とする検査対象物の基準マーク検出装置。
IPC (3件):
G06T7/60 ,  G01B11/00 ,  G06T1/00
FI (3件):
G06T7/60 150C ,  G01B11/00 D ,  G06T1/00 305C
Fターム (46件):
2F065AA03 ,  2F065AA17 ,  2F065BB27 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF44 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ43 ,  2F065SS02 ,  5B057AA03 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE12 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DB09 ,  5B057DC06 ,  5B057DC23 ,  5L096AA03 ,  5L096AA06 ,  5L096AA11 ,  5L096BA03 ,  5L096DA02 ,  5L096EA03 ,  5L096EA35 ,  5L096EA43 ,  5L096FA37 ,  5L096FA60 ,  5L096GA08
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • X線座標計測方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-009634   出願人:日本電気株式会社
審査官引用 (3件)

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