特許
J-GLOBAL ID：200903010172708197

シミ欠陥検出方法及び装置

発明者：
小島 広一

小島 広一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (4件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所 ,  木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-187181
公開番号（公開出願番号）：特開2008-014842
出願日： 2006年07月06日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置の提供。【解決手段】本発明のシミ欠陥強調フィルタは、点対称位置でセットとされた2つの輝度比較画素の対象画素Oに対する輝度差の平均値などに基いて、輝度比較画素S1〜S32で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、パネル画像領域Rpの内部および外部に当該フィルタが跨る場合を第2条件および第3条件により判断し、このような場合、セットの輝度比較画素のうち対象画素Oと同じ領域にある方の対象画素Oとの輝度差をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。これにより、パネル画像領域Rp内外の輝度差に起因してシミ欠陥有りと誤検出することを防止できる。そして、このような複数の条件付けにより、パネル画像領域Rpのみを撮像画像から抽出する処理などを不要にできるので、処理の簡略化、検査時間の短縮化が図られる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
撮像した画像の各画素に対してシミ欠陥強調フィルタをかけてシミ欠陥を強調するシミ欠陥強調処理工程と、 前記シミ欠陥強調処理工程で得られた各画素のシミ欠陥強調値に基づいてシミ欠陥を検出するシミ欠陥検出工程とを有し、 前記シミ欠陥強調処理工程は、 撮像画像において選択された対象画素から所定距離離れてかつ対象画素の周囲に配置された各輝度比較画素を、前記対象画素を挟んで対称位置に配置された2つの輝度比較画素毎のセットに分け、 各セットそれぞれについて、当該セットの2つの輝度比較画素のうち一方の輝度値と前記対象画素の輝度値との差の値である第1差分、および他方の輝度値と前記対象画素の輝度値との差の値である第2差分をそれぞれ求め、 所定の検査対象領域内外の輝度差に基づく条件付け閾値および前記第1差分の比較結果と、前記条件付け閾値および前記第2差分の比較結果とに基づいて、前記第1差分および前記第2差分の両方が前記条件付け閾値未満のときに成立する第1条件と、前記第1差分が前記条件付け閾値未満で且つ前記第2差分が前記条件付け閾値以上のときに成立する第2条件と、前記第1差分が前記条件付け閾値以上で且つ前記第2差分が前記条件付け閾値未満のときに成立する第3条件とを含む複数の条件を設定し、 前記第1条件が成立する場合には、前記第1差分および前記第2差分の平均値またはこれら第1差分および第2差分のより小さい値を前記強調算出値とし、 前記第2条件が成立する場合には、前記第1差分を前記シミ欠陥強調値を算出するための強調算出値とし、 前記第3条件が成立する場合には、前記第2差分を前記強調算出値とし、 各セットの前記強調算出値のうち、最小値を対象画素のシミ欠陥強調値とするシミ欠陥強調フィルタを用いてシミ欠陥を強調し、 前記シミ欠陥検出工程は、前記各画素のシミ欠陥強調値を所定の閾値と比較してシミ欠陥候補の画素を抽出してシミ欠陥を検出することを特徴とするシミ欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13
FI (4件)：
G01N21/88 Z ,  G06T1/00 300 ,  G01M11/00 T ,  G02F1/13 101
Fターム (38件)：
2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED08 ,  2G051ED14 ,  2G051ED15 ,  2G086EE10 ,  2H088EA12 ,  2H088EA67 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CF04 ,  5B057CH09 ,  5B057CH18 ,  5B057DA04 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32
引用特許：
出願人引用 (4件)
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