特許
J-GLOBAL ID:200903010286940073
配線付き基体形成用積層体、配線付き基体およびその形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
渡辺 望稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-245934
公開番号(公開出願番号):特開2003-058079
出願日: 2001年08月14日
公開日(公表日): 2003年02月28日
要約:
【要約】【課題】低抵抗でパターニング性能に優れ、かつ、紫外線照射による洗浄などで発生するオゾンに対して耐性の高い、配線付き基体形成用積層体、配線付き基体およびその形成方法の提供。【解決手段】基体上にAgまたはAg合金からなる層2aと、その上に、CuまたはCu合金からなる層2bとを有する配線付き基体形成用積層体と、配線付き基体およびその形成方法。
請求項(抜粋):
基体上にAgまたはAg合金からなる層と、その上に、CuまたはCu合金からなる層とを有する配線付き基体形成用積層体。
IPC (8件):
G09F 9/30 330
, G09F 9/30 310
, G09F 9/30 365
, G02F 1/1343
, G09F 9/35
, H05B 33/10
, H05B 33/14
, H05B 33/26
FI (8件):
G09F 9/30 330 Z
, G09F 9/30 310
, G09F 9/30 365 Z
, G02F 1/1343
, G09F 9/35
, H05B 33/10
, H05B 33/14 A
, H05B 33/26 Z
Fターム (32件):
2H092GA25
, 2H092GA34
, 2H092HA06
, 2H092JA24
, 2H092MA05
, 2H092MA13
, 2H092MA17
, 2H092NA28
, 2H092PA01
, 3K007AB00
, 3K007AB05
, 3K007AB12
, 3K007CA00
, 3K007CA01
, 3K007CA02
, 3K007CA04
, 3K007CA05
, 3K007CB01
, 3K007DA00
, 3K007DB03
, 3K007EB00
, 3K007FA01
, 5C094AA31
, 5C094AA32
, 5C094AA37
, 5C094BA27
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094DA14
, 5C094EA04
, 5C094EA07
, 5C094FB12
引用特許:
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