特許
J-GLOBAL ID：200903010411867405
照明光学系、露光装置およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-031082
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216917
出願日： 2005年02月07日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
【課題】 照明条件を任意かつ連続的に変更できるようにした照明光学系を提供する。【解決手段】 照明光学系300は、光源200からの光で被照明面14を照明する。該照明光学系内の特定位置には、二次元的に配列されて、それぞれ変位駆動が可能な複数のミラー4aが設けられている。照明光学系は、例えば、光源からの光束を略平行光束に変換する第1の光学系と、該複数のミラー4aを有し、第1の光学系からの光束を反射するインテグレータ4と、該インテグレータからの光束により被照明面に所定形状の照明領域を形成する第2の光学系5〜12とを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光で被照明面を照明する照明光学系であって、
該照明光学系内の特定位置に二次元的に配列され、それぞれ変位駆動が可能な複数のミラーを有することを特徴とする照明光学系。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 17/00
, G21K 1/06
, G21K 5/02
H01L21/30 531A
, G02B17/00 Z
, G21K1/06 M
, G21K5/02 X
2H087KA21
, 2H087NA04
, 2H087NA18
, 2H087RA31
, 2H087RA37
, 2H087TA02
, 2H087TA06
, 5F046GA04
, 5F046GB01
, 5F046GC03
