軟X線光源装置およびEUV露光装置ならびに照明方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185798
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】複数の放電プラズマ光源を束ねた場合に各光源からの光束を有効に活用することが出来ない。【解決手段】複数の点光源と、複数の点光源からの光を一点に集光させる集光反射光学系と、前記集光反射光学系を通過した各光源からの光を反射させる角度可変ミラーと、前記角度可変ミラーに入射する光束に応じて角度可変ミラーの角度を変えることにより各点光源からの光束を同一の方向へ反射する角度制御部と、を有する事を特徴とする軟X線光源装置。

請求項（抜粋）：

複数の点光源と、複数の点光源からの光束を一点に向けて集光させる集光反射光学系と、前記集光反射光学系を通過した各光源からの光を反射させる角度可変ミラーと、前記角度可変ミラーに入射する光束に応じて角度可変ミラーの角度を変えることにより各点光源からの光束を同一の方向へ反射する角度制御部と、を有する事を特徴とする軟X線光源装置。

IPC (6件)：

G21K 1/06 , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , G21K 5/02 , H01L 21/027 , H05G 2/00

FI (8件)：

G21K 1/06 K , G21K 1/06 M , G03F 7/20 503 , G03F 7/20 521 , G21K 5/02 W , G21K 5/02 X , H01L 21/30 531 A , H05G 1/00 K

Fターム (15件)：

2H097AA03 , 2H097CA15 , 2H097LA10 , 4C092AA04 , 4C092AB10 , 4C092AC09 , 4C092BD20 , 5F046CB02 , 5F046CB23 , 5F046DA01 , 5F046GA03 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GC03 , 5F046GD10

引用特許：

審査官引用 (8件)

光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-099805 出願人：レーザーテック株式会社
特表平6-510632
特表平6-510632

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