特許
J-GLOBAL ID：200903010453125328

レーザ走査型顕微鏡及びその表面形状の測定方法

発明者：
藤井 章弘

藤井 章弘 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-325027
公開番号（公開出願番号）：特開2009-145774
出願日： 2007年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：
【課題】安価で高精度且つ高速に高さ情報を測定可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。【解決手段】光偏向器9により被検物3上をライン状に走査して得られる1ライン分の高さプロファイルを、その走査方向に所定量だけずらしながら複数取得する。演算処理部19は、取得した複数の高さプロファイルを繋ぎ合わせて1つのプロファイルを求める。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザ光源からの光を対物レンズを通して被検物に集光すると共に被検物の面方向にそれぞれ独立に前記レーザ光を走査可能な光偏向部と、対物レンズの焦点位置と共役な位置に配置された光学絞りを通過する被検物からの反射光量を検出する光検出部と、被検物と対物レンズの光軸方向の相対距離を変えるZ走査部と、前記Z走査部により相対距離を変化させた際の、前記レーザ光源を被検物上に走査する際に得られる光検出器からの輝度出力が最大値となる前記相対距離を求めることで、被検物の各走査ポイントにおける高さ情報を求める制御部を有するレーザ走査型顕微鏡において、 前記光偏向部により被検物上をライン状に走査して得られる1ライン分の高さプロファイルをその走査方向に所定量だけずらしながら複数取得し、複数の前記高さプロファイルから走査方向に1つのプロファイルを求める演算処理部を、備えることを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (6件)：
G02B 21/00 ,  G02B 21/26 ,  G02B 21/36 ,  G02B 21/18 ,  G01B 9/04 ,  G01B 11/24
FI (7件)：
G02B21/00 ,  G02B21/26 ,  G02B21/36 ,  G02B21/18 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24 K ,  G01B11/24 Z
Fターム (54件)：
2F064MM01 ,  2F064MM04 ,  2F064MM23 ,  2F064MM24 ,  2F064MM32 ,  2F064MM45 ,  2F064MM47 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2F065UU06 ,  2F065UU07 ,  2H052AA07 ,  2H052AA08 ,  2H052AB14 ,  2H052AB24 ,  2H052AB27 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD04 ,  2H052AD05 ,  2H052AD18 ,  2H052AD20 ,  2H052AD35 ,  2H052AF02 ,  2H052AF06 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3835505号公報
審査官引用 (6件)
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