特許
J-GLOBAL ID：200903044909870570

レーザ顕微鏡

発明者：
波田 安功

波田 安功 について


出願人/特許権者：
大倉インダストリー株式会社

大倉インダストリー株式会社 について


代理人 (2件)： 大山 健次郎 ,  小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-372468
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171817
出願日： 2005年12月26日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】ライン状光ビームを用いて試料の断面形状及び2次元共焦点画像を撮像するレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ光源(10)から発生したレーザビームをマイクロミラー装置(15)により非コヒーレントなライン状光ビームに変換する。ライン状光ビームは振動ミラー(62)により周期的に偏向され、対物レンズ(23)を介して試料(27)に入射する。試料からのライン状の反射光は、振動ミラー(62)経てリニァイメージセンサ(29)により受光される。また、観察光もカップリング光学系(21)及び対物レンズを介して試料に入射し、2次元CCD(36)により2次元画像が撮像される。振動ミラー(62)を静止ミラーとして用いることにより試料の断面形状が撮像され、ビーム偏向ミラーとして用いることにより共焦点画像が撮像される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
観察すべき試料の1次元画像を撮像する計測光学系と、前記試料の2次元画像を撮像する観察光学系と、計測光学系から出力される1次元画像信号を用いて試料の断面形状情報を出力する信号処理回路とを具えるレーザ顕微鏡において、 前記観察光学系は、観察光を発生する照明光源と、照明光源から出射した観察光を前記対物レンズの光路に結合するカップリング光学系と、前記試料からの反射光を、前記対物レンズ及びカップリング光学系を介して受光する2次元撮像装置とを有し、 前記計測光学系は、計測光であるレーザビームを、第1の方向に延在する非コヒーレントなライン状光ビームに変換するライン状光ビーム発生手段と、ライン状光ビームを観察すべき試料に向けて投射する対物レンズと、対物レンズと試料との間の相対距離を変化させる手段と、対物レンズと試料との間の相対距離を光軸方向の位置情報として検出する位置検出手段と、前記第1の方向と対応する方向に配列された複数の受光素子を有し、試料から出射するライン状の反射光を受光して試料の1次元画像情報を出力するリニァイメージセンサとを有し、
IPC (2件)：
G02B 21/36 ,  G02B 26/08
FI (2件)：
G02B21/36 ,  G02B26/08 E
Fターム (6件)：
2H041AA13 ,  2H041AB14 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭62-18179号公報
  • 光学顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-329412   出願人：株式会社キーエンス
審査官引用 (3件)

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