切削方向検出システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-227465
公開番号（公開出願番号）：特開平8-066848
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：

【要約】【目的】ダイサーでの切削時にチッピング発生の少ない切削方向を自動的に検出出来るようにした、切削方向検出システムを提供する。【構成】被加工物を撮像手段で撮像し切削領域を検出する第1のアライメントステップと、少なくとも1本の切削溝を形成する第1の切削ステップと、その溝の状態を前記撮像手段で検出してメモリに記憶する第1の溝検出ステップと、被加工物を180°反転させる切削方向反転ステップと、反転後の被加工物を前記撮像手段で撮像し切削領域を検出する第2のアライメントステップと、少なくとも1本の切削溝を形成する第2の切削ステップと、その溝の状態を前記撮像手段で検出してメモリに記憶する第2の溝検出ステップと、検出した第1、第2の溝を比較してチッピングの少ない方を選び切削方向を決定する切削方向決定ステップとから構成される。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する保持手段と、この保持手段に保持された被加工物を切削する切削手段と、被加工物を光学的に撮像する撮像手段とを少なくとも含む切削装置で切削する場合であって、前記保持手段に保持された被加工物の表面を撮像手段で撮像し前記切削手段で切削すべき切削領域を検出する第1のアライメントステップと、このアライメントに基づいて被加工物に少なくとも1本の切削溝を形成する第1の切削ステップと、前記切削溝を撮像手段の直下に位置付け、溝の状態を検出してメモリに記憶する第1の溝検出ステップと、前記保持手段を180°回転して被加工物の切削方向を反転させる切削方向反転ステップと、反転した後の被加工物の表面を前記撮像手段で撮像し切削手段で切削すべき切削領域を検出する第2のアライメントステップと、このアライメントに基づいて被加工物に少なくとも1本の切削溝を形成する第2の切削ステップと、前記切削溝を撮像手段の直下に位置付け、溝の状態を検出してメモリに記憶する第2の溝検出ステップと、前記第1の溝検出ステップと、第2の溝検出ステップとによって検出した溝の状態を比較してチッピングの少ない方を選び切削方向を決定する切削方向決定ステップと、から構成される切削方向決定システム。

IPC (4件)：

B23Q 17/24 , B23Q 15/00 , B28D 5/00 , H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/78 Q , H01L 21/78 C , H01L 21/78 F

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平3-236260
半導体ウェーハの切断ライン位置検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-014694 出願人：住友電気工業株式会社
フルオートダイサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-341895 出願人：関西日本電気株式会社

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